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真空镀膜设备的选购要点

随着行业的发展，实验室真空镀膜装置，目前真空镀膜设备运用普遍，那么大家在选购真空镀膜设备时需要注意什么呢？

1、根据工艺要求选择不同规格和类型的镀膜设备，其类型有电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。

2、真空系统由机械泵、扩散泵、油增压泵、增扩泵、罗茨泵、埚轮分子泵等及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成。    

3、炉体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。实验室真空镀膜装置

4、夹具运转形式有自转、公转及公转+自转方式，用户可以根据基片尺寸及形状提出对应的要求，转动的速度范围及转动精度：普通可调及变频调速等。

5、充气方式可选用质量流量计、浮子流量计 + 针阀及相应的充气阀门，并可选择多路充气管路及相应流量参数。

6、根据工艺要求选择镀制方式及形式，如电阻蒸发（钨丝、钼舟、石墨舟）磁控源（同轴圆柱型磁控源、园柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等）以靶材材质及尺寸多弧源（Ф60，实验室真空镀膜装置生产厂家，Ф80直径靶材，实验室真空镀膜装置公司，气动、电动的引弧等），真空测量可选择数字式智能真空计及其**的测量规管，及其它测量仪器，如自动压强控制仪等。膜厚测量可选用方块电阻测量仪，透过率计等。

7、根据设备使用特点，可选择手动、半自动、全自动或其组合的控制方式。

8、根据需烘烤的结构提出烘烤温度、材质以及所需配备相应仪表测量。

9、完善的报警系统，对真空室体、扩散泵断相、缺水、气压、电源负载的过压、过流等异常情况进行声光报警。

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蒸发镀膜机

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，一直专注于真空设备的研发、制造，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的**企业。主营产品蒸发镀膜机，磁控溅射镀膜机，电子束蒸发镀膜机，多弧离子溅射镀膜机，热丝CVD设备，装饰镀膜机，硬质涂层设备等。

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镀膜行业的发展趋势

真空电镀分真空蒸镀、溅射镀和离子镀等几种类型。它们都是采用在真空条件下，通过蒸馏或溅射等方式在基片表面沉积各种金属和非金属薄膜，真空电镀可以得到非常薄的表面镀层，同时电镀速度快且镀层附着力好。现在普遍常见的塑胶产品电镀工艺主要有水电镀和真空离子镀。水电镀是利用电解工艺，将金属或合金沉积在镀件表面，形成金属镀层的表面处理技术。水电镀不仅成本较高，而且对环境污染大，逐步地被人们所淘汰，而离子镀膜机生产出的产品不仅金属感强，亮度高，重要是成本较低，对环境污染小，现在为各行业广泛采用。

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真空镀膜机操作程序

真空镀膜机操作程序具体操作时请参照该设备说明书和设备上仪表盘指针显示及各旋钮下的标注说明。① 检查真空镀膜机各操作控制开关是否在'关'位置。② 打开总电源开关，设备送电。③ 低压阀拉出。开充气阀，听不到气流声后，启动升钟罩阀，钟罩升起。④ 安装固定钨螺旋加热子。把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。把铝丝穿放在螺旋加热子内。清理钟罩内各部位，**无任何杂质污物。⑤ 落下钟罩。⑥ 启动抽真空机械泵。⑦ 开复合真空计电源（复合真空计型号：Fzh-1A)。a.左旋钮“1”顺时针旋转至指向2区段的加热位置。b.低真空表“2”内指针顺时针移动，当指针移动至110mA时，左旋钮'1'旋转至指向2区段测量位置。⑧ 当低真空表“2”内指针再次顺时针移动至6.7Pa时，低压阀推入。这时左旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。⑨ 真空镀膜机开通冷却水，启动扩散泵，加热40min。⑩ 低压阀拉出。重复一次⑦动作程序：左下旋钮“1”转至指向2区段测量位置。低真空表“2”内指针顺时针移动，当指针移动至6.7Pa时，实验室真空镀膜装置生产厂，开高压阀（阀杆顺时针旋转）。? 等低真空表“2”内指针右移动至0.1Pa时，开规管灯丝开关。a. 发射、零点测量钮“9”旋转至指向发射位置。b. 左下旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。? 旋转发射调节钮“4”，使高压真空表“5”内指针指向5。? 发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向零点位置。? 旋转零点调节钮“10”，让高压真空表“5”内指针指向0位置。? 发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向测量位置。? 旋转标准调节钮“3”，让高压真空表“5”内指针指向10。? 旋转“倍加器”开关钮“8”至指向10-12，当高压真空表“5”内指针逆时针左移**过1时，再把“倍加器”开关旋钮“8”旋转至指向10-3。? 当高压真空表“5”内指针逆时针移动**过6.7Pa时，开工件旋转钮开关，钟罩内被镀件PVDF膜转动。? 开蒸发钮开关。把电流分插塞插入蒸发电极分配孔内（设有1、 2、 3、 4孔，可插入任意一孔）。? 右手旋转右侧调压器手轮，慢慢旋转升压。a. 从视镜窗口观察钨螺旋加热子的加热温度颜色变化情况。b. 当钨螺旋加热子颜色变成黄橙色，铝丝开始熔化时，左手操作挡板钮，移开钨螺旋上方挡板。c. 铝丝全部熔化蒸发，挡板回原位。d. 右手旋转调压器手轮回零位。*1次蒸镀工作完成。21. 如果再想蒸镀一次（为了增加电极金属层厚度）：把电流分插塞拨出插入另一个电极分配孔。重复?操作动作。22. 关闭规管灯丝开关。关闭高压阀（逆时针转手柄）。关闭工件旋转。关闭蒸发。旋转机械泵钮至指向扩散泵位置。23. 低压阀拉出。钟罩充气。充气一段时间，当没有气.声时，升钟罩。24. 钨螺旋加热子内加铝丝。PVDF薄膜调换另一面向下 （原下面已镀一层铝膜面向上）。紧固在转动圆盘上。25. 落钟罩。开机械泵。a. 左下旋钮“1”旋转至指向2区段测量位置。b. 当低压真空表“2”内指针顺时针移动到6.7Pa时，低压阀推入。c. 左下旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。d. 当低压真空表“2”内指针顺时针移动到6.7Pa时，开高压阀。旋钮“1”旋转至指向2区段测量位置。e. 当低压真空表“2”内指针顺时针移动到指向0.1Pa时，开规管灯丝。f. 由?开始重复操作至? 。26. PVDF薄膜蒸镀完铝层后，按顺序关闭规管灯丝、高压阀、机械泵、扩散泵。把低压阀拉出。钟罩充气，充气完毕后升钟罩。取出工件，做好钟罩内清理工作。a. 落下钟罩。b. 开机械泵，抽3~5min，停机械泵。c. 切断供电总开关。d. 1h后再关闭冷却水。操作全部完成。27. 正常生产中，如遇到突然停电时，要立即切断高真空测量，关闭规管灯丝，高压阀、低压阀拉出。来电后，先让机械泵启动工作3~5min后，再转入正常生产。实验室真空镀膜装置

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