等离子| |等离子清洁设备

等离子表面处理

利用等离子技术对这些材料进行表面处理，在高速高能量的等离子体的轰击下，这些材料结构表面得以较’da化，同时在材料表面形成一个活性层，等离子清洁设备，这样橡胶、塑料就能够进行印刷、粘合、涂覆等操作。应用等离子技术对橡塑表面处理，其操作简单，低温等离子，处理前后没有有害物质产生，处理效果好，效率高，运行成本低。

等离子表面处理技术的应用领域包括橡胶、复合材料、玻璃、布料、金属等，涉及各行各业，这篇文章中我们主要介绍其在橡胶、塑料领域一些行业的具体应用。

等离子的物理反应

主要是利用等离子体里的离子作纯物理的撞击，把材料表面的原子或附着材料表面的原子打掉，由于离子在压力较低时的平均自由基较轻长，有得能量的累积，因而在物理撞击时，离子的能量越高，越是有的作撞击，所以若要以物理反应为主时，就必须控制较的压力下来进行反应，这样清洗效果较好，为了进一步说明各种设备清洗的效果，我们作了各种对比试验。

．STN-LCD、TFT-LCD、OLED或PDP之COG或OLB制程前的ITO电极表面清洁

．COF (ILB) 或COB制程的电极表面清洁

．LCD或OLED的玻璃清洁

．IC封装（Flip Chip，等离子， CSP， BGA，PTI等离子清洗机， TCP， or Lead Frame， etc.）或LED封装的表面清洁或改质

．PCB的表面清洁、活化、改质或去残胶

．晶圆的表面清洁或去光阻

等离子体技术行业应用

等离子体和固体、液体或气体一样，是物质的一种状态，也叫做物质的*四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的'活性'组分包括：离子、电子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子体表面处理仪就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。