真空磁控溅射镀膜机,**物蒸发镀膜机,杭州赛威斯真空技术

维护和保养方法

1、每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。

方法：用烧碱（NaOH）饱和溶液反复擦洗真空室内壁，（ 注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液，以免灼伤）目的是使镀上去的膜料铝（AL）与NaOH发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。

2、当粗抽泵（滑阀泵，旋片泵）连续工作一个月（雨季减半），需更换新油。

方法：拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量（油视镜观察）。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。

3、扩散泵连续使用6个月以上，抽速明显变慢，或操作失当，充入大气，拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水彻底清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。

方法：启动维持泵，关好大门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕，否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧环，无法进入工作状态。

    以上信息由杭州赛威斯真空技术有限公司提供，★杭州赛威斯真空技术有限公司★联系电话：0571-82502385（杨经理）专业从事电子束蒸发镀膜机,电阻蒸发镀膜机,真空非标设备定制的生产和销售,欢迎来电咨询。

隔膜真空泵是生产装置中使用频率较高的真空设备，隔膜真空泵在长时间使用过后，都会出现一些故障需要进行维修，总结原因无外乎磨损、松动、破裂和污阻等。下面兰帆给大家分享隔膜真空泵在使用中常见的几种维修事项。

兰帆YH-500隔膜真空泵

1隔膜损坏

隔膜真空泵的隔膜是由气压推动双向阀做高速运动，隔膜在做高速运动的同时还必须

维修方法：更换新的隔膜。由于隔膜真空泵的隔膜一旦损坏，隔膜真空泵就很难达到额定的压力，在高速运动下，对隔膜的损坏会越来越大。

2单向阀磨损

单向阀磨损是因为介质在吸入泵壳时，介质中的杂质或颗粒撞击单向阀，使单向阀表面是光滑度降低，单向阀损坏，从而使得介质的压力和流量不足。

维修方法：对于单向阀磨损，分两种情况来解决。一当磨损不是很严重的情况下，可以用砂纸打磨单向阀表面，使接触面光滑，减少阀球和阀座的间隙;二如果单向阀磨损较为厉害，则更换单向阀。

3双向阀堵塞

双向阀在高压气体的吹动下做往复运动，当高压气体有杂质或较为湿润时，很容易造成双向阀的堵塞。

维修方法：如果遇到双向阀堵塞时，需要我们进行双向阀的清洁工作。

提醒：双向阀在进行清理工作时需要小心谨慎，由于双向阀的零件都比较小，不起眼，很容易掉落，同时双向阀的密封要求又非常高。

以上信息由杭州赛威斯真空技术有限公司提供，★杭州赛威斯真空技术有限公司★联系电话：0571-82502385（杨经理）专业从事电子束蒸发镀膜机,电阻蒸发镀膜机,真空非标设备定制的生产和销售,欢迎来电咨询。