“厂家直销气体泄露质量流量计氩气质量控制器氮气质量流量计”详细信息
产品规格: |
不限 |
产品数量: |
1.00 个 |
包装说明: |
不限 |
价格说明: |
不限 |
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午腾测控仪表(上海)有限公司
用途与特点
质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、是有工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括:电子工艺设备,如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。
主要技术指标
1
量程范围
(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500...)SCCM
(0~1,2,3,5,10, 50,100,200,500,2000) SLM
2.准确度:+1.0%F.S
3.线性:+0.5~1.5%F.S
4.重复精度:+0.2%F.S
5.响应时间:电特性:10sec 气特性:(1~4)sec
6.工作压差:(0.1~0.5)MPa
7.耐压:3MPa
8.工作环境温度:0~70℃
9.数字量:RS485 MODBUS协议
10.模拟量:DC 0~5V ,4~20mA 可选
11.供电:DC +15V/24V 可选,流量计<400mA,控制器<600mA
12.电气连接:DB15
13.漏率:1×10--8SCCSHe
14.底座材质:316L不锈钢
15.密封材质:氟橡胶,丁晴橡胶,氯丁橡胶
16.气路接头:Φ3,Φ6,Φ10,1/8〞,1/4〞,3/8〞
欢迎来到午腾测控仪表(上海)有限公司网站,我公司位于历史文化悠久,近代城市文化底蕴深厚,历史古迹众多,有“东方巴黎”美称的上海市。 具体地址是
上海松江洞泾沈砖公路5808,联系人是刘小姐。
主要经营1.本产品精度可达0.3%
2.可测量高粘度介质,较高可达80万CP
3.可定制哈市合金等特殊合金泵
4.可定制微小排量和**大排量
5.可测量腐蚀性介质。
单位注册资金单位注册资金人民币 100 万元以下。