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洁净厂房是空气中悬浮粒子受控的生产空间。它的设计、建造和使用应尽量减少室内诱入,产生和带菌粒子。室内其它有关参数,如:温度、相对湿度、压力等也按要求进行控制。
洁净室的气流流型
1. 单向流:沿着一定方向呈平行流线,阜阳洁净厂房,并且横断面风速一致的气流(有垂直单向流和水平单向流之分)(过去被称为层流)
2. 非单向流:不符合单向流定义的气流。(过去被称为乱流)
3. 混合流:单向流和非单向流组合的气流。
4. 矢流:气流以放射形方向流线不交叉的气流。
洁净厂房空调系统特点
洁净厂房空调系统与一般民用建筑的空调系统的不同,30万级洁净厂房,它首先对控制区的洁净度有很高要求。导体器件厂房内,在硅衬底上只要落有电路线宽1/10~1/3大小的尘埃,就可能导致芯片电路短路。如今,半导体集成电路的发展突飞猛进,把生产环境的洁净度控制推向了高点。另外,洁净厂房空调系统除对洁净度要求较高外,还对温度、湿度、震动、噪音等都有不同程度要求。
同时,化工洁净厂房,由于半导体器件生产工艺的特点,要求洁净厂房内全天(24h)保持相应的洁净度,目此,洁净空调系统(包括排风系统)、为其配套的冷、热源及相应的输送系统需每天24 h运行,这也与其他空调系统较其不同。运行时间的增长也使其空调系统的节能更具有潜力和意义。