合肥真空镀膜机、佛欣真空、塑料真空镀膜机厂家

当粗抽泵（滑阀泵，旋片泵）连续工作一个月（雨季减半），合肥真空镀膜机，需更换新油。具体方法是：拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量（油视镜观察）。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢即可。

（６）辐射损伤低，全自动真空镀膜机，这是制造 ＭＯＳ（金属氧化物半导体）等半导

器件不可缺少的条件。

化学气相沉积的主要缺点是：反应温度太高，一般要在

０℃左右，许多基体材料大都经受不住ＣＶＤ的高温，因此其用

大大受到限制。

通过对上述的各种沉积方法的综合比较，不难看出真空离子

的综合指标是比较好的，具体内容如表１?１所示。

多弧离子镀技术是采用阴极电弧蒸发源的一种离子镀技术。

较电弧蒸发源可以是Ｔｉ、Ａｌ、Ｚｒ、Ｃｒ等单相靶材，也可以是由它

组成的多相靶材，多弧离子镀应用面广，实用性强。除了具有其

各种离子镀方法的广泛用途外，特别是在高速钢刀具镀覆 ＴｉＮ

层的应用方面发展的较为*，并进入了工业化阶段。

真空镀膜设备选购要点分析如下：

▲炉体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。

▲根据工艺要求选择不同规格及类型的镀膜设备，其类型有电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。

▲夹具运转形式有自转、公转及公转+自转方式，用户可根据基片尺寸及形状提出相应要求，不锈钢真空镀膜机，转动的速度范围及转动精度：普通可调及变频调速等。

▲真空系统由机械泵、扩散泵、油增压泵、增扩泵、罗茨泵、埚轮分子泵等及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成。

▲根据工艺要求选择镀制方式及形式，如电阻蒸发（钨丝、钼舟、石墨舟）磁控源（同轴圆柱型磁控源、园柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等）以靶材材质及尺寸多弧源（Ф60，Ф80直径靶材，气动、电动的引弧等），真空测量可选择数字式智能真空计及其优质的测量规管，及其它测量仪器，如自动压强控制仪等。膜厚测量可选用方块电阻测量仪，透过率计等。

▲充气方式可选用质量流量计、浮子流量计 + 针阀及相应的充气阀门，塑料真空镀膜机厂家，并可选择多路充气管路及相应流量参数。

▲根据需烘烤的结构提出烘烤温度、材质以及所需配备相应仪表测量。

▲根据设备使用特点，可选择手动、半自动、全自动或其组合的控制方式。

▲完善的报警系统，对真空室体、扩散泵断相、缺水、气压、电源负载的过压、过流等异常情况进行声光报警。

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