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青岛赛瑞达电子装备股份有限公司
应用领域:较大规模集成电路制造**设备,工艺时间短,生产效率高,具有出色的工艺性能,达到国际先进水平。产品优势:1、晶片直径8英寸2、产能(片/批次)150片3、晶片高速搬送系统,实现高吞吐量4、精密的热场控制,气体控制系统5、工艺周期短,生产效率高
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