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平行光曝光灯

一．故障发生经过 2012 年 4 月 20 日 5 点 45 分接到图案站电话， 说自动曝 光机发生异常，我时间赶往现场，经询问，故障发生时 机台不报警，型号为 VK2607，30Ω ，厚度为 0.7mm 的玻璃连 ．．． ． 续做歪 102 片下片，不良现象能直观看出来，有 62 片已经 ． 过蚀刻房而宣告报废，另外 40 片被制造人

员回收。 二．故障查找经过 由于机台不报警，不能确定哪里有问题，所以当场用型 ．．． 号为 VK86602，厚度也为 0.7mm 的玻璃 3 片试机， 试图找出报 警点，玻璃做好后，结果在受检机台上测试均为良品，由于 当时没有找到原因，风冷曝光灯，制造人员又不敢继续生产，故停机等待 白班设备再确认。后来白班设备也没有找到异常原因，故机 台在 2012 年 4 月 20 日 13 点投入生产，跟进作业无任何异 常。 三．故障及报废玻璃责任分析 机台连续做歪 102 片玻璃，本人认为，如果真是机台原 ．． 因，在故障查找和跟进作业时故障肯定会表现出来，但结果 恰好相反，所以造成做歪玻璃的原因不明，平行光曝光灯，是不是制造人员 对机台误操作造成的已无法考证。 由于本次报废玻璃较多，影响较大，所以做跟进调查， 30Ω 的 VK2607 型号玻璃 102 片正常情况下需要 1 个小时左右完成，而在正常作业中，制造人员应该每隔半小时（此时 ．．． 间是制造人员告诉我的）左右或者每隔几十片玻璃就要对所 做产品做抽检。 有时也可能根据实际情况作抽检检查。 但是， 无论哪种型号不可能在做了 100 片以后才做检查， 由此可见， 不论做歪玻璃原因是机为还是人为，制造人员都应该把报废 率降低在现在的一半，不应该连续做那么多较终被品保巡检 抽检出来。 四．心得体会 综上所述，在辅助生产和直接生产过程中，每一个人都要认 真负责，这样才能降低故障率，水冷曝光灯，提高生产良率。为公司的发 展贡献出自己的一份力量。

平行光曝光灯

曝光灯的光谱从近紫外线到远紫外线成连续光谱，主波峰在313nm--480nm之间，具有良好的瞬间点灭性能，适合用于连续点灯、灭灯的曝光设备上，特别是在水中直接冷却降低热放射，适合于容易热化的制品UV曝光。其工作时间一般能在800小时左右（在额定电压下）。常见的曝光灯有四种类型。

常见曝光灯类型

毛细管曝光灯，也就是毛细管水银灯，主要型号：HT-5000用于志圣5000W曝光机，日本进口平行光曝光灯，IML-5000用于三英，群翊5000W曝光机，还有HT-7000，HT-8000等

平行光曝光灯，也称**高压水银短弧灯，主要用于PCB电路板，LCD液晶面板，PDP等离子生产.。常用型号:AHD-5000/R。

金属卤素曝光灯，是由普通UV水银灯添加铁化合物，钾化合物或其他稀有金属化合物制成。其高波峰是380nm。

常见型号：OLEC L1281，OLEC L1251，OLEC L1261；PC5000CSNL曝光灯、PC5002RC曝光灯、PC5001CBT曝光灯、PC5000MF曝光灯、HAKUTO-PC3500SG曝光灯、AHD5000R曝光灯、川宝平行曝光灯等。

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