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晋宇达电子是一家专门从事提供集成电路生产线关键设备 光刻机的销售、安装、翻新、改造、再制造、备件耗材及技术咨询成套解决方案的**企业。
光刻机紫外光源曝光系统较核心的部件之一是紫外光源。常见光源分为:紫外光(UV),g线:436nm;i线:365nm深紫外光(DUV),沈阳去胶机,KrF 准分子激光:248 nm, ArF 准分子激光:193 nm较紫外光(EUV),苏州去胶机,10 ~ 15 nm对光源系统的要求
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市场份额
目前市场上提供量产商用的光刻机厂商有三家:ASML,去胶机, 尼康(Nikon),佳能(Canon)。 根据2007年的统计数据,在中高端光刻机市场,ASML占据大约60%的市场份额。