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制作的绕射式元件所量测焦距的方式-光学常识 预知并了解所设计的元件的特性。 对于使用 BOE 溶液来蚀刻石英,其目的是要将经由活性离子蚀 刻后的灰阶微透镜之石英,使其表面的形状缓和,若在 BOE 溶液中 浸泡太久会有侧向蚀刻的情况产生,会造成元件表面的图形走样而 使得元件的特性改变,因此在浸泡 BOE 溶液时,时间需要拿捏在几 秒中就可以达到让 3D 元件的表面缓和并不会破坏元件的图形,而 影响其绕射效果。 对于之前制作的绕射式元件所量测焦距的方式有:杜曼-格林干涉 法和云纹干涉法两种,对于长焦距的灰阶微透镜而言,使用这两种 的量测方式误差范围大约在 2%左右,但对短焦距的八阶微透镜而 言,目前只能用云纹干涉法来量测,也因元件的尺寸太小造成在元 件尺寸内的条纹数过少,因此对焦距的量测上会有 40%的大幅度误 差,其解决的方案是在增加八阶微透镜移动的距离时,使量测之单 位长度条纹数改变量增加,以提高焦距量测的精确度