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    上海等离子体增强MOCVD设备供应
那诺*有限公司
  • 所在区域:上海嘉定
  • 经营性质:股份有限公司
  • 企业类型:其他
  • 注册地:上海省上海市老沪闵路728弄14号
  • 主营产品:上海兆声波晶圆清洗设备价格
  • 注册资金:人民币 100 - 250 万元
  • 企业未认证
  • 个人实名未认证
    商家产品分类
    “上海等离子体增强MOCVD设备供应”详细信息
产品规格: NMC-3000 产品数量: 1.00 台
包装说明: 价格说明: 不限
查看人数: 246 人 本页链接: https://info.b2b168.com/s168-51183326.html


那诺*有限公司

上海等离子体增强MOCVD设备供应
等离子辅助MOCVD技术

NMC-3000 PAMOCVD系统概述:
NANO-MASTER针对InGaN及AlGaN沉积工艺所研发的台式等离子辅助金属**化学气相沉积系统(PA-MOCVD),该系统具有5个鼓泡装置(各带独立的冷却槽)、加热的气体管路、950度样品台三个气体环、淋浴式气体分布的RF射频等离子源以及工艺终端的N2冲洗、250l/sec涡轮分子泵及无油真空泵(5 x 10-7Torr极限真空)、PC全自动控制,*的安全互锁。
目前,这项技术延伸到5个4"晶圆的立柜式独立批处理系统,该系统可以集成到集群配置中以满足高产量的要求。

NMC-3000 PAMOCVD系统应用:Green LED’s (GaN, InGaN, AlGaN, ...)

NMC-3000 PAMOCVD系统特点:
台式系统
5个带独立冷却槽的起泡器
加热的气体管路
950 °C样品台,2"晶圆片
3个气体环
RF等离子源,带淋浴头气体分布
工艺完成后N2自动冲洗
极限真空5x10-7Torr
260 l/s的涡轮分子泵串接无油干泵
通过LabView软件实现PC计算机全自动控制
菜单驱动,4级密码访问控制
完整的安全联锁
 
NMC-3000 PAMOCVD系统 Features:
Table Top System 
ive Bubblers with Individual Cooling Baths
Heated Gas Lines
950 °C Platen, 2" Wafer
Three Gas Rings
RF Plasma Source with Shower Head Gas Distribution
N2 Flush after Process
5x 10-7 Torr Base Pressure
250 l/sec Turbomolecular Pump with Oil Free Scroll Pump
PC Controlled with LabVIEW
Recipe Driven, Password Protected
Fully Safety Interlocked



那诺中国有限公司___上海等离子体增强MOCVD设备供应


欢迎来到那诺*有限公司网站,我公司位于历史文化悠久,近代城市文化底蕴深厚,历史古迹众多,有“东方巴黎”美称的上海市。 具体地址是上海嘉定老沪闵路728弄14号,负责人是吴运祥。
主要经营LSC-4000兆声大基片清洗系统,上海那诺中国,上海那诺中国,上海那诺中国公司。
单位注册资金单位注册资金人民币 100 - 250 万元。

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    电话:021-31663529

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    地址:上海嘉定老沪闵路728弄14号

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