产品规格: | NMC-3000 | 产品数量: | 1.00 台 |
---|---|---|---|
包装说明: | 无 | 价格说明: | 不限 |
查看人数: | 246 人 | 本页链接: | https://info.b2b168.com/s168-51183326.html |
上海等离子体增强MOCVD设备供应 等离子辅助MOCVD技术 NMC-3000 PAMOCVD系统概述: NANO-MASTER针对InGaN及AlGaN沉积工艺所研发的台式等离子辅助金属**化学气相沉积系统(PA-MOCVD),该系统具有5个鼓泡装置(各带独立的冷却槽)、加热的气体管路、950度样品台三个气体环、淋浴式气体分布的RF射频等离子源以及工艺终端的N2冲洗、250l/sec涡轮分子泵及无油真空泵(5 x 10-7Torr极限真空)、PC全自动控制,*的安全互锁。 目前,这项技术延伸到5个4"晶圆的立柜式独立批处理系统,该系统可以集成到集群配置中以满足高产量的要求。 NMC-3000 PAMOCVD系统应用:Green LED’s (GaN, InGaN, AlGaN, ...) NMC-3000 PAMOCVD系统特点: 台式系统 5个带独立冷却槽的起泡器 加热的气体管路 950 °C样品台,2"晶圆片 3个气体环 RF等离子源,带淋浴头气体分布 工艺完成后N2自动冲洗 极限真空5x10-7Torr 260 l/s的涡轮分子泵串接无油干泵 通过LabView软件实现PC计算机全自动控制 菜单驱动,4级密码访问控制 完整的安全联锁 NMC-3000 PAMOCVD系统 Features: Table Top System ive Bubblers with Individual Cooling Baths Heated Gas Lines 950 °C Platen, 2" Wafer Three Gas Rings RF Plasma Source with Shower Head Gas Distribution N2 Flush after Process 5x 10-7 Torr Base Pressure 250 l/sec Turbomolecular Pump with Oil Free Scroll Pump PC Controlled with LabVIEW Recipe Driven, Password Protected Fully Safety Interlocked 那诺中国有限公司___上海等离子体增强MOCVD设备供应