产品规格: | NOC-4000 | 产品数量: | 1.00 台 |
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包装说明: | 无 | 价格说明: | 不限 |
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高精密光学镀膜抛光设备 光学元件原子级清洗镀膜系统 光学元件原子级抛光镀膜设备概述: NANO-MASTER 离子束清洗抛光-磁控溅射镀膜系统提供先进的技术,在一个腔体中实现原子级清洗和光学样片抛光,然后把样片传送到*二级腔体中对同一样片进行表面涂覆,整个过程不间断真空。系统的设计也可以支持其中任一个腔体的单独使用,同时具备各自的自动上/下载片功能。 一、光学元件原子级抛光镀膜设备应用: Optical Coatings 光学涂层 Sputtering 溅射 IBAD IBAD离子束辅助沉积 Ion Beam Etching Cleaning 离子束刻蚀清洗 Ion Beam Assisted Reactive Etching 离子束辅助反应刻蚀 Infrared Coatings 红外涂层 Surface Treatment 表面处理 二、光学元件原子级抛光镀膜设备产品特点: RF Biasable Platen RF射频偏压样品台 Thickness Monitor 膜厚监测仪 5x10-7 Torr Base Pressure 极限真空5x10-7Torr High Accuracy and Repeatability **及高重复性 High Quality Films **膜层 Atomic Level Clean Surfaces 原子级的洁净表面 Atomic Cleaning and Polishing 原子级清洗和抛光 PC Controlled with LabVIEW 通过LabView软件实现PC计算机全自动控制 Automatic Load/Unload 自动上下载片 Automatic Transfer Between Chambers 两个腔体之间自动传送 Recipe Driven, Password Protected 菜单驱动,4级密码访问保护 Safety Interlocks 完整的安全联锁 46”D x 44”W Footprint 占地面积46”D x 44”W 三、光学元件原子级抛光镀膜设备选配项: Sputter Down/Up 向下/向上溅射 Co-Sputtering 共溅射 DC, RF and Pulsed Power Supplies DC,RF以及脉冲电源 Ion Beam Assisted Deposition 离子束辅助沉积 E-Beam Sources 电子束源 Plasma Sources 等离子源 那诺中国有限公司|||高精密光学镀膜抛光设备