产品规格: | CL4514 | 产品数量: | 100.00 台 |
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包装说明: | 本行业标准包装 | 价格说明: | 不限 |
查看人数: | 28 人 | 本页链接: | https://info.b2b168.com/s168-297414263.html |
公司编号: | 8610141 | 更新时间: | 2025-03-01 10:48:17 |
工作温度: | 650℃ | 炉体长度: | 3300mm |
控制方式: | 移相触发,精度:±2℃ |
用途:
主要用于各大高校、硅材料实验室、及微电子对半导体6寸及以下硅片的高温扩散、氧化(湿氧)、退火、烧结合金工艺的教学和实验工作。
1.1、工作温度:400-1300℃
1.2、恒温区长度及精度: 300mm /±0.5℃(可选)
1.3、炉管数:一、二、三、四管(可选)
1.4、适应硅片尺寸: 6寸及向下兼容
1.5、送取片方式:自动或手动(可选)