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真空腔体是低温真空蒸发器的主要部分。它通常由不锈钢或其他耐高温、耐腐蚀的材料制成。真空腔体内部是一个密封的空间,能够提供高度稳定的真空环境。腔体上部通常有一个观测窗口,可以观察蒸发过程。腔体下部则配备有适当的接口,用于连接加热源和材料源。