科研设备科研仪器设备科研加热设备晨立设计定制

青岛晨立电子有限公司

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科研炉是半导体加工中的典型热处理设备，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件、光导纤维等行业中进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。

主要技术参数：
◆工艺管数量：1-4管
◆工艺管口径：Φ90-360mm（3～12英寸）
◆工作温度范围：400～1280℃
◆恒温区长度及精度±0.5℃/1080mm
◆工艺均匀性:≤±5％（30~60欧姆）

◆结构型式：卧式热壁型
◆气体流量设定精度:±1％F.S
◆气路系统气密性： 1×10-7pa.m3/s
◆净工作台：净化等级：100级（万级厂房）噪音：≤62dB（A）震动：≤3μm
◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制
◆控制方式：工业微机控制

欢迎来到青岛晨立电子有限公司网站，我公司位于中国着名的品牌之都—青岛市具体地址是山东青岛即墨区山东省青岛市即墨区泰山三路285号联东U谷即墨科技创新谷3号楼，负责人是姜新诚。
主要经营供应扩散炉、炉体、链式炉、真空炉、还原炉等等。。
单位注册资金单位注册资金人民币 100 - 250 万元。

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