1100°C/1400°C/1700°C真空CVD气相沉积炉

一、产品简介：

该设备ZYG1700-100是一款小型的双温区管式炉；真空系统搭配机械泵+分子泵真空度可达6.67*10-4pa，根据客户的实际需求，安装有4路进气口，为了更精准的控制进气的精度在每一路进气安装有质量流量计，量程分别为（、甲烷各一路量程为100ml/min；一路量程为500ml/min；氩气一路量程是1L/min暂定）；安装有混气系统与设备分开单独控制，操作起来更为方便；

采用真空吸附成型的高纯氧化铝纤维炉膛保温部分采用硅酸铝浇铸纤维真空浇注模块，热效，轻、薄、节能、施工简捷；加热元件采用U型硅钼棒，有效保证了较好恒温区和温度均匀度；炉管采用耐高温的高纯刚玉管管子的尺寸为：φ100*1400mm、有效温区为：φ90*400mm，加热区为：φ90*700mm；；法兰采用水冷密封结构使用310S的不锈钢材料无缝满焊而成；法兰的水为上进下出，接口为φ8的卡套式接头；可有效保设备能够长期高温使用，有效避免了高温状态下密封圈形变漏气等隐患；进气口为设备的左侧，在左侧法兰上；排气阀、真空泵、尾气燃烧装置的位置在设备的右侧法兰上；采用PID温控调节，使炉温控制精度达到±1℃；搭配全自动控制系统，所有温度系统、真空系统、气路系统均集成于触摸屏及PLC内；客户只需一键启动即可;此款设备可做CVD气象沉积，硅碳包覆，退火，烧结等工艺；被高校、科研院所、工矿企业广泛用于材料或化学实验室在真空或保护气氛状态下烧结各种新材料样品；

二、主要技术参数：

产品名称

CVD管式炉

产品型号

ZYG1700-100

较高温度

≤1600℃

工作温度

RT-1600℃

管子尺寸

Φ100*5*1400mm（直径*壁厚*长）；如果更小或更短的管子能满足客户的需求，建议使用：φ80/φ60*1400mm的刚玉管或者φ80/φ100*1200mm的刚玉管；这样断裂的风险会大大降低；

恒温区尺寸

Φ90*400mm（直径*长）

温区个数

双温区（两点控温）

加热元件

U型硅钼棒

炉管材质

高纯刚玉管

流量计

质量流量计（北京七星华创）

温控仪表

日本山武

PLC

西门子

触摸屏

昆仑通态

冷水机

1P冷水机

真空系统

搭配机械泵（宁波鲍斯）+分子泵（世纪久泰），真空度可达6.67*10-4pa

可通气氛

，氩气，乙烯，甲烷等

保温材质

高纯氧化铝多晶纤维部分选用硅酸铝浇铸纤维真空浇注模块

温控系统

PID调节、自整定功能；

测温方式

B型热电偶（铂铑）

控温精度

±1.0℃

升温速率

≤20℃/min（推荐升温≤10℃/min）

温场均匀度

±5°

最大功率

20KW

工作电源

AC 380V Single- Phase，50/60 Hz

三、设备结构：

炉壳结构

用全新设计的双层全密封模块式壳体，合理的结构设计可使炉壳对各个密封点进行定向通风散热处理，可确保使用的双重安全性；全新的外观更加美观，操作更加方便、；

加热炉体采用双层风冷壳体对开式结构，炉壳和内胆合理的空气夹层及合理的角度设计能有效的保证炉壳所有表面的温度低于55℃； 

真空系统

设备内置真空系统采用一台直联泵DRV-24系列、分子泵JJTF-1200、真空挡板阀、真空规管、真空压力表、真空放气阀、真空管路等，并留有充气接口。为减少炉体振动，真空管道与泵的连接采用金属波纹管，真空测量可选装电阻真空计测量；该真空系统只需30min以内即可达到10-4PA左右的工作真空度；

真空测量系统

该系列电阻真空变送器将真空规管与测量及控制电路集成在一起，采用了高精度模数转换 器采集数据，并利用单片机系统来对采集数据进行非线性处理及误差修正，是低真空测量较理想的仪器之一；

气路系统

该设备的气路有不锈钢针型阀、电磁阀、304管路、等组成，且该系统上配备有压力安全互锁装置和安全防爆装置，能实时监测保护炉内压力，使用更加；

针型阀

不锈钢管路

炉管法兰

采用310S不锈钢水冷法兰有效避免了高温状态下密封圈形变漏气；

控温系统

温度控制为模糊PID微电脑自动演算,PV/SV同时显示按键设定；

温度控制方式为P.I.D+S.S.R可控硅；

控制方式：30段PID程序控温 ；

可控硅控制原理如下：

气路系统

该设备设计有4路质量流量计进气口，统一连接到真空密封的混合气罐中去（质量流量计的控制精度可根据客户的需要来定制做，可满完全满足客户对气体的精准度），混合气罐的气体连接到炉管内部，可使气体充分分解从而达到CVD和碳包覆的均匀性，（可让客户工艺更全面化），保证排后端气路系统的安全使用性；进气端设计预留有视窗口，可让客户更能准确的了解工艺的状态；

尾气处理装置

为了避免废气直接排出室外，我们在设备安装有感应点火装置，有效的处理高温中裂解的；点火装置是我司较新研发的产品，采用生物法燃烧保证火不会熄灭，有效避免了熄火的安全隐患：        

自动控制

该设备控制系统分为手自动双重模式；

所有温度系统、真空系统、气路系统均集成于触摸屏及PLC内；客户只需一键启动，该设备就可依次运行设备的真空、温度等运行、停机程序；该过程*人工过多干预，以保证整机设备运行可靠的稳定性能；该设备具有无纸记录仪功能，能够对所有数据进行实时记录及历史记录调取功能；**温设置报警并自动切断加热回路，报警方式为声光报警。 

数据记录系统

触摸屏内需记录以下数据，可调阅历史记录（自带无纸记录仪功能）：

1：主控温度；

2：监控温度；

3：真空数值；

要求以上温度具有数据报表及曲线显示的功效，方便客户调阅；带数据导致及报表生产功能；可让客户每炉产品都能做到数据备案；