上海石英叉指电极 芯云纳米技术供应

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加工后的芯片为划片后用金线将芯片上的焊盘和 PCB 板底座上的焊盘导通，PCB 上有和外界处理电路相连的接口。焊盘处用环氧树脂封装，避免暴露而引入噪声，同时固定腔体用于培养细胞。采用电镀铂黑的方法来提升电极比表面积，在电镀前，芯片表面用酒精和去离子水交替清洗，直至显微镜下观察到电极上无异物并呈亮金色。电镀铂黑的溶液出 1%的氯酸和0.01%的醋酸铅配制而成。以微电极为工作电极，Ag/AgCI 电极为参考电极，铂电极为对电极，恒电位工作仪产生的直流恒电压 0.01mV 为工作电压，根据电极大小控制时间，上海石英叉指电极，直径为30um的电极所需电镀时间约为20~25s。电镀后电极位点表面早黑色棉絮状,明显增加了电极表面的粗糙程度，上海石英叉指电极。处理后的芯片可用纯水清洗，去除离散的铂黑微粒，浸于纯水环境中，并避光保存，避免芯片表面生长微生物而受到污染。叉指电极导电层需采用物理方法制备，主要包括蒸镀、磁控溅射，上海石英叉指电极、丝网印刷、喷墨打印。上海石英叉指电极

在电化学生物传感器中，由相对交叉排列的微叉指电极之间产生一个平行板电容场，由打开的电极，向被测材料提供单边测试区域，两电极板和之间产生电场线。叉指电极原理为，传感器产生的电场线穿透到被测物中并改变传感器的阻抗，由于传感器表现为电容，容抗则成为系统性能的函数。因此，通过测量被测物对传感器的电容电抗,可以评估系统的性能。由于叉指传感器的电极是共面的，因此被测电容会给出很高的信噪比，为了获得较强的信号，该传感器的电极重复平面阵列。湖北MEMS叉指电极生物传感器领域内，衬底材料主流发展方向之一。

电极结构是影响传感器性能的重要因素之一，电极的结构参数包括形状、指宽度、间距、指长、厚度，指对数、指宽比和电极表面的状态，即是否有功能化修饰等。电极厚度对信噪比影响明显，但指数对其影响较小，减小电极宽度和间距可以提高信噪比。被测对象的形态和在传感器表面的分布状态也是设计微叉指电极结构的考虑因素，有研究发现电极间距约为细胞直径的4倍时传感器有较好的灵敏度，在一定范围内增加电极的厚度、减小宽度也能提高传感器的精度。细胞与电极的相对位置也影响测量灵敏度，这种客观的影响因素为微流控技术在微又指电极传感器_上的应用提供了机遇，微流控技术可以控制被测细胞在微叉指电极传感器表面的位置分布。

随着**糖尿病患者的增多，**血糖仪的市场也逐渐庞大，达到了近 200 亿美元，在国内的血糖仪市场中，外国企业拥有优势，其中以强生，罗氏，雅培这几个常见品牌为首占据了**六成的市场份额，国产品牌以三诺，硅基动感为主，近年鱼跃医疗也逐步开始进入血糖市场。1968年血糖仪被发明之后，血糖仪技术逐步完善，经历了如水洗式、擦血式血、比色法、电化学法等几代的技术更新，并开始向可穿戴式连续血糖仪发展。如今，市面上使用的自测血糖仪大多是电化学法血糖仪，而近年来科技的进步，智能化的可穿戴式设备也逐步被普及，随着人们养生意识的强化和对健康生活方式的追求，可穿戴式生命健康设备的需求量也在迅速提高，现在的血糖仪研究也开始向多部位血糖仪的方向发展，旨在实现对血糖变化数据的实时监测。连续血糖检测技术能提供随时间变化的血糖浓度曲线，并能预测血糖浓度下一时刻的变化趋势。叉指电极是实现电子皮肤的重要部分。

叉指电极制备方法包括薄膜沉积，通过化学或物理方法把厚度在微纳米级别的薄膜沉积在衬底表面的微纳加工方法。化学方法如化学气相沉积、外延、热氧化等，通常伴有副产物的产生。物理方法包括蒸镀和溅射，是利用物理过程使被沉积材料直接沉积到衬底表面形成薄膜，不发生化学反应。本工作中薄膜沉积为电子束蒸发，是在真空条件下利用电子束进行直接加热蒸发材料，使蒸发材料气化并向衬底输运，在衬底上凝结形成薄膜的方法。电子束蒸发沉积法可以制备高纯薄膜同时在同一蒸发沉积装置中可以安置多个堆塌，实现同时或分别蒸发，沉积多种不同的物质。通过电子束蒸发，任何材料都可以被蒸发，不同材料需要采用不同类型的堆塌以获得所要达到的蒸发率。叉指电极平面工艺的重要环节是表面图型化，即在基底或沉积的薄膜表面形成各种各样的图型。河南Au叉指电极

电极阵列导电层与生物组织*直接接触就能够通过电容耦合的形式对生物信号进行采集。上海石英叉指电极

微又指电极可用于检测不正常细胞，不正常细胞是由正常细胞变异而来，而正常细胞具有生命周期调亡，不正常细胞则会无限增殖，还可以转化和转移攻击正常细胞，这也是产生病源及难点所在。常在低频段实验时发现，用100um宽间距20um，500um厚的电极实验检测 MCF-7 细胞时精度更高。不同尺寸ITO叉指电极传感器对腺人类肺泡基底上皮细胞细胞培养做阻抗测量。通过阻抗分析宽 60um、间距 20um 和宽40um、间距40um两种结构的电极发现，宽60um、间距20um的电极阻抗变化更明显，证明了电极间隙小、宽度大能够使传感器有更好的灵敏度。上海石英叉指电极

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