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产品规格:不限
产品数量:100.00 台
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EVG®105 Bake Module
EVG®105 烘烤模块
独立的EVG®105烘焙模块专为软曝光或曝光后烘焙过程而设计。
技术数据
可以在EVG105烘烤模块上执行软烘烤,曝光后烘烤和硬烘烤过程。受控的烘烤环境可确保均匀蒸发。可编程接近销可提供对抗蚀剂硬化过程和温度曲线的控制。 EVG105烘烤模块可以同时处理300 mm的晶圆尺寸或4个100 mm的晶圆。
特征
独立烘烤模块:晶片尺寸为300毫米,或同时晶片尺寸为四个100毫米
温度均匀性≤±1°C @ 100°C,250°C烘烤温度
用于手动和安全地装载/卸载晶片的装载销
烘烤定时器 基材真空(直接接触烘烤)
N2吹扫和近程烘烤0-1 mm距离晶片至加热板可选 不规则形状的基材
技术数据
晶圆直径(基板尺寸):高达300毫米 烤盘:温度范围:≤250°C
手动将升降杆调整到所需的接近间隙
电话:86-0632-5976067-
传真:--15665226730-
手机:18263262536
地址:上海徐家汇1001号
邮编:277500
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