日本Nikon尼康NEXIV VMR -H3030自动影像测量仪

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尼康CNC影像测量仪NEXIV VMR-H3030

CNC视频图象坐标测量仪

NEXIV VMR-H3030系列

VMR-H3030 (X,Y,Z/300x300x150mm)精度:Uxy=0.6 2L/1000um Uz=0.9 L/150um

• 该设备具有的精度以及多种多样的功能，XYZ行程为300×300×150毫米，不仅可以用于各种模具、零件的测量，还可以作为检测室的主检测设备使用。 8方向程控LED 环形照明系统、自动影象对焦以及具有扫描功能的激光自动对焦装置均为标准配置。15倍变焦比的5段程控变焦镜组，可以在各段（倍率）间进行自由切换，以满足低倍大视场观察搜索和高倍***测量两方面的需求。以低热膨胀材料制做的光栅本身就具有的精度，加上其合理的布局以及坚固***的硬件设计，使 NEXIV VMR-H3030 的测量不确定度达到了亚微米级，可以满足模具的检测需。
• 有多种多样的照明方式可供选择，以确保模具边界准确探测的
• 较长的工作距离（50毫米），可满足测量对工件高度方向的空间
• 高达15倍的变焦比，可以满足低倍大视场观察搜索和高倍***测量两方面的需求。与无级变焦机构相比，采用5段、定倍自动变焦机构可以使测量更加快速、准
• Z120X 型（带高倍头）
• 具有*****的载物台，与高倍头配合使用，能够准确测量工件的细微部位（如掩膜及芯片凸点高度等关键尺寸）光学放大倍数可达120X，能够测量微距线宽；
• 高速、***的载物台有助于对较大的物体尺寸，进行快速、准确地测量；
• 可以分别测量刻线的上下宽度；
• 激光自动扫描功能，可以用来测量芯片上的微小凸点高度以及锡球截面形状等；
• 可以对激光扫描所得的截面轮廓形状进行评估。
• 应用领域：
• 各种芯片级封装、芯片上的凸点高度、各种掩膜板等。