kleindiek探针台MM3A-EM

上海连航机电科技有限公司

产品名称：kleindiek探针台MM3A-EM

产品型号：MM3A-EM

产品介绍：

MM3A-EM探针站包括多达八个MM3A-EM微操作器，与我们的X和Y方向行程为30mm的远程子阶段相结合。子阶段可以选择性地配备位置编码器，可产生50nm的重复性。另一个选项是添加一个范围为3 mm的Z轴。

整个平台可以在短短几分钟内安装在SEM的载物台上，也可以很容易地将其移除，以使显微镜恢复到以前的状态。

MM3A-EM微操作器配备了低电流、低容量的测量能力，并与探测工具硬件和软件套件完全兼容，包括带电接触测试仪和电子束感应电流成像模块等。

该平台还可以安装温度高达450°C的加热台。其他定制可根据要求提供（e，g，集成LED照明）。

性能特点：

● 紧凑灵活

-易于安装和拆卸，具有高度灵活性

-带模块化组件的即插即用系统

-大多数SEM/FIB仪器的接口解决方案

-快速设置

-大样本的充足空间

-大工作范围（30 mm x 30 mm子阶段行程）

-开创性的布线技术

● 清晰简单

-直观的控制界面和软件

-用户友好且易于学习

-快速简便的探针头更换

-紧凑、独立的电子设备

-使用多个操纵器轻松工作

● 坚固稳定

-好的稳定性

-低漂移（1纳米/分钟）

-可靠运行（一年耐久性试验）

-几乎不受振动影响

-手动快速预定位

● 快速准确

-高操作速度（高达10毫米/秒）

-亚纳米分辨率（0.25纳米）

-无齿隙或反向间隙

-广泛的工作范围

-一个驱动器中的粗排量和细排量

参数：

● 总高度：31毫米

● 总宽度：180毫米

● max样本尺寸：70 mm-70 mm，max高度10 mm

● 重量：~1200克

三轴微型操作器

A=左/右B=上/下C=进/出

● 工作范围：A=240°，B=240°，C=12mm

● 分辨率A:7 x 10–9 rad（0.5 nm）

● 分辨率B:7 x 10–9 rad（0.2 nm）

● 分辨率C:<0.05 nm

● 低漂移：1纳米/分钟

低容量、低电流测量

● 噪音：25 fA@1 Hz

● 绝缘泄漏电流：<50 fA/V

● 信号导体电阻：<5Ω

● max电压：100 V

● max电流：100 mA

变电站

● 行程X和Y：28.5毫米

● 速度：highest 2 mm/s

● 分辨率：＜0.5 nm

● 重复性：50 nm（可选）

● 角度偏差：<1µrad

● 负载：500 g

● 可选Z驱动范围：3毫米

● Z提升能力：25 g

● 温度范围：273 K至353 K

● 特高压版本：273 K至393 K

● min压力：10-7毫巴

● **高压版本：2 x 10-10毫巴

● 变电站安装：4 x 3.2 mm孔

● 样品安装：夹子或2 x M3孔

产地：德国

应用：

● 纳米抛光

● 故障分析

● 低电流晶体管测试