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之所以在高科技中被广泛应用并且越来越重要, 首先是与它的特性有关，同时也与现代高技术的特殊需求有关。通过热分解或与其它气体的化学反应，可由制得单晶硅、多晶硅、非晶硅、金属硅化物、氮化硅、碳化硅、氧化硅等一系列含硅物质。利用可以实现较高的纯度、较精细(可达原子尺寸)的控制和较灵活多变的化学反应。从而将各种含硅材料按各种需要制成复杂精细的结构, 这正是现代具有各种特异功能的材料和器件所要求的基本条件。

较早实用化和应用量较大的是作为生产高纯度硅的中间产物，一般称为法。历来生产高纯度硅的主要方法是三氯硅法（西门子法）。

的又一应用是非晶半导体非晶硅。与单晶半导体材料相比非晶硅的特点是容易形成较薄的(厚度10nm左右)大面积器件，衬底可以是玻璃、不锈钢、甚至塑料，表面可以是平面也可是曲面，因此可以制成各种性能优异的器件。