产品规格: | 1400*1600*2800 | 产品数量: | 5.00 台 |
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包装说明: | 木架 | 价格说明: | 不限 |
查看人数: | 45 人 | 本页链接: | https://info.b2b168.com/s168-253618428.html |
公司编号: | 22803602 | 更新时间: | 2025-02-23 09:29:52 |
重量: | 约3000kg |
一、主要用途
主要用于硅片,钨钢,蓝宝石、蓝玻璃、陶瓷片、晶体、半导体及其他硬脆材料的高精度双面研磨/抛光,尤其适用于**薄工件的加工。
二、产品特点
1、压力精密控制:PLC+PT+电气比例阀+低摩擦气缸实现高精度压力闭环控制;
2、上盘减震装置:动静态均适用的减振弹性连接方式;
3、精密传动系统:高精度小齿隙全齿轮传动;
4、下盘支撑:高精度平面流体轴承支撑;
5、销齿传动:内外齿采用销齿传动,延长载体使用寿命,维护便捷;
6、传动系统:三电机同步拖动,上盘、下盘和齿圈、太阳轮(即可正转,也可反转)转速可任意设定,具有配方功能。
三、技术参数
序号 | 项目 | 规格参数 | |
1 | 下盘 | 尺寸 | Φ952mm×Φ388mm×50mm(研磨) |
Φ960mm×Φ380mm×50mm(抛光) | |||
转速 | 3-45 rpm | ||
驱动电机 | 7.5kW AC380V 50Hz 1440rpm | ||
2 | 上盘 | 尺寸 | Φ952mm×Φ388mm×50mm(研磨) |
Φ960mm×Φ380mm×50mm(抛光) | |||
转速 | 3-30 rpm | ||
驱动电机 | 4.0kW AC380V 50Hz 1440rpm | ||
3 | 游星轮 | 参数 | 节距:15.7 Z=64 |
数量 | 6个 | ||
4 | 太阳轮 | 转速 | 0-20 rpm |
驱动电机 | 1.5kW AC380V 50Hz 1440rpm | ||
5 | 精度指标 | 上、下盘平面度 | ≤0.015mm |
下盘端跳 | ≤0.02mm | ||
6 | 加工范围 | 较大加工尺寸 | Φ280mm |
较小加工厚度 | 0.15mm(≤2"片) | ||
整盘承载量 | 18×6=108片(2" 圆片) | ||
7 | 水源 |
| 纯水或自来水 |
8 | 电源 | 功率 | 14kW AC380V 50Hz |
线缆规格 | 三相五线刮.3×4mm²+2×2.5mm² | ||
9 | 气源 | 压力 | 压缩空气源0.5-0.6Mpa |
接管口径 | 接口Φ10mm(外径) | ||
10 | 外形尺寸 |
| 长×宽×高:1650mm×1300mm×2500mm |
11 | 重量 |
| 约3000Kg |
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