产品规格: | 1800*2000*2800 | 产品数量: | 3.00 台 |
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包装说明: | 木架 | 价格说明: | 不限 |
查看人数: | 141 人 | 本页链接: | https://info.b2b168.com/s168-253579978.html |
公司编号: | 22803602 | 更新时间: | 2025-02-23 09:29:52 |
重量: | 约3000kg |
设备简介:
本机主要用于硅片、化镓片、陶瓷片、石英晶体及其它半导体材料的双面高精度研磨或抛光,也适用于其它金属、非金属、光学玻璃、蓝宝石等硬、脆、薄材料的双面高精度研磨或抛光。
设备特点:
1.机身结构优化设计,机架采用龙门式结构,刚性好,承压能力强,能满足高负载下高速稳定运行。
2.下盘、上盘和太阳轮分别由电机单独驱动,电机均采用变频电机且使用变频调速器控制,能在有效设置范围内以任意速度工作,实现平稳的停止、加速、减速及换向,能有效的防止薄脆工件破碎。
3.游星轮传动采用柱销齿结构,传动平稳无冲击,游星轮使用寿命长。柱销齿采用销套结构,销套用不锈钢材料经热处理加硬,防锈耐磨,柱销齿磨损后只需更换销套,方便简单,使用。
4.上盘下降过程中,设置了快降和缓降,缓降行程在气缸行程范围内可调,缓降速度也可根据工件抗冲击程度自由调整。
5.本机通过精密电气比例阀调整控制加工压力,可根据不同加工工艺要求,设定加工压力,压力控制精度高。
6.采用先进的PLC系统,触摸屏操作面板,所有工艺参数及工艺配方可在触摸屏上进行修改设置,可根据设定好的工艺参数自动完成整个加工过程。
7.上盘升降设计安全装置,在上盘升到**时能有效的保护上盘不突然落下。
8.一体式,模块化设计理念:将原来三台减速机集成到一台主机内,提高了减速机的刚性,减速机模组和磨盘模组可各自装配好后再整体装配,提高了装配效率,使维护更加方便快捷。
主要技术参数:
序号 | 项目 | 规格参数 |
1 | 上研磨盘尺寸 | Ø1188×Ø360×50(mm) |
2 | 下研磨盘尺寸 | Ø1188×Ø360×50(mm) |
3 | 游星轮参数 | 柱销齿 柱销直径Ø10 节距19.3 齿数52 |
4 | 游星轮数量 | 5 |
5 | 较大工件尺寸 | Ø370(mm) |
6 | 工件厚度 | 0.3-30(mm) |
7 | 下研磨盘转速 | 0-50(rmp) |
8 | 较大加工压力 | 600Kg |
9 | 主气缸 | 160×500 |
10 | 主电机 | 7.5Kw |
11 | 上盘电机 | 7.5Kw |
12 | 副电机 | 2.2Kw |
13 | 设备总功率 | 18Kw |
14 | 外形尺寸 | 1900×1480×2700(mm) |
15 | 设备质量 | ≈4500Kg |
安装条件:
序号 | 项目 | 指标要求 |
1 | 环境 | 室内地面平坦、无振动源 |
2 | 水源 | 纯水或自来水 |
3 | 电源 | 三相五线 380V |
4 | 压缩气源 | 0.6~0.8Mpa |
5 | 温度 | 0℃-45℃ |
6 | 相对湿度 | ≤95% |
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