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公司编号: | 23117542 | 更新时间: | 2024-06-07 16:41:55 |
半导体XRD测试——广东省*半导体*是广东省*下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,吉林半导体XRD测试,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
对样品粉末粒度的要求
在Brindley的分级中,“细”表示大多数颗粒周围的吸收性质是均匀的,其差异可以忽略(微吸收效应可以忽略);对中等以上的颗粒,则需要考虑“微吸收效应”;而“十分粗”的样品,衍射实际上只局限在表面一层的晶粒,此时,粉末照片开始出现不连续的点状线,“粉末吸收效应”等概念失去意义。
当晶粒尺寸小于1000埃时,衍射仪就可察觉衍射线的宽化(对于粉末照相法,需晶粒小于200~300埃才能观察到宽化)。所以,要测量到良好的衍射线,晶粒亦不宜过细,对于粉末衍射仪,半导体XRD测试哪家好,适宜的晶粒大小应在0.1~10μm的数量级范围内。
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温度对薄膜晶面生长的影响
根据实验数据将不同温度所镀相同材料做出同一坐标下射线衍射强度—2倍衍射角曲线图,从图中可以分析出各个晶面衍射强度随温度的变化趋势,在不同温度下所镀膜层,其某一晶面衍射强度不同,衍射强度越大,说明该温度越有利于该晶面的生长。
温度升高的过程中:
(1)、有利于 BaF2 (200)、(400)晶面的生长。猜想,在>300c存在一温度有利于BaF2 (200)、(400)晶面的生长。
(2)、抑制BaF2 (111)、(311)晶面的生长。猜想在<250c存在一温度利于BaF2 (111)、(311)晶面的生长
(3)、温度升高对于 BaF2 (222)晶面则表现为基本相同。猜想,温度对BaF2(222)晶面生长几乎不影响,或者,250——300·c之间存在一温度利于或不利于BaF2 (222)晶面的生长。
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如何在Jade中采用Sherrer公式计算晶粒尺寸?
Jade软件中直接集成了采用半峰宽来计算样品的晶粒尺寸这一功能,比较方便。要想使用该功能,****在Edit-->Preferences-->Report里面勾上,Estimate Crystallite Size from FWHM Values。勾上之后就可以很方便的进行粒径分析了,如下图所示,采用EditToolbar中的积分按钮,在主峰下拉取基线,会自动弹出窗口,里面包含晶粒尺寸信息。注意,这里算出来的是平均尺寸,且使用范围为3-200 nm。
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