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洁净室的温湿度主要是根据客户的加工工艺要求来确定,在满足加工工艺的条件下,应该考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的提高,工艺对温湿度的要求也越来越高,必须达到一定的温湿度等级。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,食品净化车间施工,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜**过25度。
一、通常以下因素务必充分考虑:(1)、更衣屋子的设定:将更衣的差异环节用屋子进行分离,如按脱鞋(脱外套)、穿清洁衣(穿无菌检测內衣、无菌检测外套)、气锁(洗手消毒、手消毒)等分好多个屋子。一间气锁,具有防护更衣区和厂区气旋的功效。(2)、更衣的等级分类:新版本GMP净化车间规定“更衣后半段的静态数据级别与其说相对应洁净区的清洁级别一致”。而更衣的后半段,指的是穿清洁衣(穿无菌检测外套)及之后的气锁,这种区域的清洁级别与其说服务项目的厂区级别一致。而更衣前半段区域,口罩生产净化车间施工,做为净化处理更衣的协助区,需送进通过HEPA过滤装置过虑的气体、有一定的换风次数,有一定的渗透压力,但归属于不等级分类区。(3)、更衣区的压差值:更衣区域做为工作人员出入清洁厂区的安全通道,其压差(气旋方位)基本上从级别较高区域向级别较低区域流动性。各邻近气锁屋子中间的压差以5Pa为宜,那样总计后,洁净区和非洁净区中间的压差不容*高。只需将不一样洁净区域及其清洁和非洁净区中间的压差操纵在**过10Pa就可以,如压差很大,会导致气体根据门框泄露量的扩大,与此同时对工程建筑装修隔断的抗压强度规定也需要扩大。