气浮隔振平台-志城精研-气浮隔振平台厂家-气浮隔振平台定制

随着先进的设备和工艺的发展，使纳米量级的测量成为可能。例如，变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度，目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域，已生产出线宽在亚微米量级的集成电路，提出测量准确率小于50纳米的精度要求。这样的应用对系统中不同元件相关配合精度和稳定性提出了较高的要求。例如，用显微镜对图像进行高度放大的成像系统，显微镜和照像物镜共同决定了相纸上每点的图像。如果，在曝光过程中光学系统的每一部分(照明系统、样品、显微镜光学系统、成像光学系统和相纸平面)都准确地一同移动，不存在相对位移，成像也会很清晰。如果样品相对物镜产生了运动，则像就会模糊。在光学干涉测量、全息及运用相似的规律时，控制相对运动都是很重要的。

精密光学平台产品特点：　　

1、外框采用刚性强、变形小、焊接性能好的精良中碳钢板焊接制成，外部双层涂附，有效保护内部结构不受侵蚀，延长平台使用寿命。　　

2、平台核芯部分加工采用的蜂窝结构，有效降低了固有频率、提高了阻振性能，增加了产品的整体刚度，可减少平台承载后的局部形变量。　　

3、平台面板加工采用高导磁、低热膨胀系数的不锈钢材料，精磨加工后，耐腐蚀、**损、美观实用；高导磁的特性可吸附磁座，方便在平台上搭建各种试验系统。　　

4、一般台面尺寸较大，为**较强的刚度，台板厚度多为200-300mm，台板重量大，不易搬运。　　

5、工作面25X25mm阵列M6螺纹孔，台面不平度≤0.05mm/m2，气浮隔振平台，表面粗糙度≤0.8μm。　　

6、精良高弹软橡胶减振，固有频率≤5Hz， 以下参数均出自本公司检测部门实际检测得出。

精密光学平台通过计算机的点差校准，需要计算机每次通过一个光学目标时，定向一个有限的波长作为校准，逐步的重复计算，有多少次以上就需要多少次重复，才能**校准完成，基于单光束光场的校准，一方面需要一台或多台设备独立进行多光束光场的校准，另一方面，每次校准不仅要定向一个有限的波长，还要定向多个目标，通过相邻光束的检测，得到点差，然后再逐步重复计算，直到，用校准码算出激光束的方向，接下来对校准码与初始码的比对，校准码的特有性问题。


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