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    RTP快速退火炉可支持氧化物氮化物生长硅化物合金退火片式退火
上海螣芯电子科技有限公司
  • 所在区域:上海青浦夏阳
  • 经营性质:私有企业
  • 企业类型:经销批发
  • 注册地:上海 青浦 夏阳 上海市青浦区青浦新城城东新村二区104号
  • 主营产品:半导体封装设备,半导体前道设备,半导体检测设备
  • 注册资金:人民币 250 - 500 万元
  • 企业已认证
  • 个人实名未认证
    商家产品分类
    “RTP快速退火炉可支持氧化物氮化物生长硅化物合金退火片式退火”详细信息
产品规格: 见资料 产品数量: 99.00 台
包装说明: 木箱 价格说明: 不限
查看人数: 115 人 本页链接: https://info.b2b168.com/s168-230121232.html
公司编号: 23049994 更新时间: 2023-05-18 17:09:43
电源: 220V 自动手动: 手动
功能: 环氧点胶贴片 加工定制:
重量: 100千克 规格: 桌面式快速退火炉
精度: 5%


上海螣芯电子科技有限公司

桌面式快速退火炉

RTP-150RL 是在保护气氛下的桌面手动快速退火系统,以红外可见光加热单片 Wafer 或样品,工艺时间
短,控温精度高,适用 2-6 英寸晶片。相对于传统扩散炉退火系 统和其他 RTP 系统,其*特的腔体设计、
先进的温度控制技术和*有的 RL900 软件控制系统,确保了较好的热均匀性。
1.2 产品特点
 红外卤素灯管加热,冷却采用风冷
 灯管功率 PID 控温,可精准控制温度升温,保证良好的重现性与温度均匀性
 采用平行气路进气方式,气体的进入口设置在 Wafer 表面,避免退火过程中冷点产生,保证产品良好
的温度均匀性
 大气与真空处理方式均可选择,进气前气体净化处理
 标配三组工艺气体
 可测单晶片样品的尺寸达 6 英寸(150mm)
 采用炉门安全温度开启保护、温控器开启权限保护以及设备急停安全保护三重安全措施,***
仪器使用安全
1.3 RTP 行业应用
 氧化物、氮化物生长
 硅化物合金退火
 化镓工艺
 欧姆接触快速合金
 氧化回流
 其他快速热处理工艺
二、技术规格
RTP-RL150
产品尺寸
寸晶圆或者较大支持 150×150mm 产品
腔体材质
镀金铝制腔体
温度范围
室温~1200℃(>800℃采用非接触式温度计控温)
升温速度
150/s 可编程(此温度为不含载盘的升温速度)
温度均匀度
±5℃≤500℃,±1%500
温度控制重复性
±1
恒温持续时间
可依据要求编程
温控方式
快速 PID 温控
控温区域
多组控温区域,保证恒温区温度稳定性
降温速度
约 200/min1000~400℃)不可编程
腔体设计
可配置大气常压腔体或者真空腔体
真空泵
风冷式干泵
腔体冷却方式
水冷腔体,独立水冷源控制冷却
冷水机配置
**选择瑞乐百德公司配置的冷水机,或者使用厂务用水
衬底冷却方式
氮气吹扫
工艺气体
MFC 控制,常规三路气体(N/ O/ GN2
控制方式
工业电脑+PC control
温度校准
TC Wafer 及温度校准工具(选配)
Wafer 托盘
SiC(选配)
12 寸半自动快速退火炉

RTP-300RL 是在保护气氛下的半自动立式快速退火系统,以红外可见光加热单片 Wafer 或样品,工
艺时间短,控温精度高,适用 4-12 英寸晶片。相对于传统扩散炉退火系统和其他 RTP 系统,其*特的腔
体设计、先进的温度控制技术和*有的 RL900 软件控制系统,确保了较好的热均匀性。
1.2 产品特点
 红外卤素灯管加热,冷却采用风冷
 灯管功率 PID 控温,可精准控制温度升温,保证良好的重现性与温度均匀性
 采用平行气路进气方式,气体的进入口设置在 Wafer 表面,避免退火过程中冷点产生,保证产品良好
的温度均匀性
 大气与真空处理方式均可选择,进气前气体净化处理
 标配两组工艺气体,较多可扩展至 6 组工艺气体
 可测单晶片样品的较大尺寸为 12 英寸(
300×300mm)
 采用炉门安全温度开启保护、温控器开启权限保护以及设备急停安全保护三重安全措施,***
仪器使用安全
1.3 RTP 行业应用
 氧化物、氮化物生长
 硅化物合金退火
 化镓工艺
 欧姆接触快速合金
 氧化回流
 其他快速热处理工艺
2.1 参数
RTP-RL300
产品尺寸
4-12 英寸晶圆或者较大支持 300×300mm 产品
其中兼容 寸 片与 寸 片晶圆
腔体材质
镀金铝制腔体
温度范围
室温~1200℃(>800℃采用非接触式温度计控温)
升温速度
150/s 可编程(此温度为不含载盘的升温速度)
温度均匀度
±5℃≤500℃,±1%500
温度控制重复性
±1
恒温持续时间
可依据要求编程
控温区域
多组控温区域,保证恒温区温度稳定性
温控方式
快速 PID 温控
降温速度
约 200/min1000~400℃)不可编程
腔体设计
可配置大气常压腔体或者真空腔体
真空泵
风冷式干泵
腔体冷却方式
水冷腔体,独立水冷源控制冷却
冷水机配置
**选择瑞乐百德公司配置的冷水机,或者使用厂务用水
衬底冷却方式
氮气吹扫
工艺气体
MFC 控制,常规三路气体(N/ O/ GN2
控制方式
工业电脑+PC control
四、选配清单
温度校准
TC Wafer 及温度校准工具(选配)
Wafer 托盘
SiC(选配,升温速度控制较高 25/min
 


欢迎来到上海螣芯电子科技有限公司网站,我公司位于历史文化悠久,近代城市文化底蕴深厚,历史古迹众多,有“东方巴黎”美称的上海市。 具体地址是上海青浦夏阳上海市青浦区青浦新城城东新村二区104号,联系人是娄经理。
主要经营贴片机相关产品。
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  • 娄经理(销售总监)

    手机:13122976482

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