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    Trymax-NEO200A去胶机NEO2000化合物去胶NEO3000硅基干法去胶
上海螣芯电子科技有限公司
  • 所在区域:上海青浦夏阳
  • 经营性质:私有企业
  • 企业类型:经销批发
  • 注册地:上海 青浦 夏阳 上海市青浦区青浦新城城东新村二区104号
  • 主营产品:半导体封装设备,半导体前道设备,半导体检测设备
  • 注册资金:人民币 250 - 500 万元
  • 企业已认证
  • 个人实名未认证
    商家产品分类
    “Trymax-NEO200A去胶机NEO2000化合物去胶NEO3000硅基干法去胶”详细信息
产品规格: 见资料 产品数量: 99.00 台
包装说明: 木箱 价格说明: 不限
查看人数: 86 人 本页链接: https://info.b2b168.com/s168-230121176.html
公司编号: 23049994 更新时间: 2023-05-18 17:09:43
电源: 220V 自动手动: 手动
功能: 环氧胶贴片、共晶贴片 加工定制:
重量: 100千克 规格: T-10X
精度: 正负5um


上海螣芯电子科技有限公司

主要涉及CMOS、功率、射频、MEMS、LED以及晶圆级封装技术等生产制造的公司,可以从我们的解决方案中获益。NEO系列可处理各种类型的半导体材料、晶圆尺寸和厚度。主要集中在:

· 去胶、预处理、光蚀刻、表面处理和清洁

· 紫外光刻胶固化与晶圆器件电荷擦除

去胶、预处理、蚀刻、表面处理和清洁

Trymax提供用于去胶、预处理、光蚀刻、表面处理和清洁的等离子反应腔,工艺过程采用干燥和环保的工艺。

去胶:包括剥离光刻胶, 去胶过程通常在离子注入或蚀刻后进行。

预处理:去除晶圆上残留的光刻胶或聚酰,应用于晶圆制造前段或晶圆级封装。

蚀刻:材料如Si3N4,SiO2和多晶硅等各向同性蚀刻。具有较高的性价比。

表面改性:在湿法蚀刻前进行表面活化,以改善蚀刻工艺步骤。在沉积前提高表面附着力等方面的应用。

清洁:多种清洁方式。例如,等离子体清洗可以在湿法蚀刻完成清洗步骤之后进行,或者在干燥后从空腔或通孔中去除一些残留聚合物之后进行。

Trymax NEO 200A系列

NEO 200A是Trymax半导体设备去胶和蚀刻产品且为小占地面积的单腔。它是一个完全自动化的单腔系统且可以配置当前任何可用的Trymax NEO工艺模块,它与直径达200mm的衬底兼容并且这款小尺寸的NEO 200A配有两个上料台。

特性

- 100/150/200mm衬底尺寸

-双卡塞上料台

-4轴双臂机器人操作

-提供3种不同的工艺室:

- 微波下游(2.45GHz)

-射频偏压(13.56 MHz)

-双电源(微波、射频偏压)

-机台产量>100wph

-较小的占地面积

-较低的拥有成本

-全数字控制,设备网-以太网

-基于Windows的工业计算机

应用:

-整体抗蚀剂,LDI抗蚀条

-预处理加工

-聚合物去除

-大剂量后植入条

-氮化硅/碳化硅蚀刻应用

- TaSi蚀刻

-MEMS应用

-高级包装加工(PR、PI、BCB、PBO)

-射频滤波器BAW/SAW抗蚀处理

Trymax NEO 2000系列

NEO 2000生产线是来自Trymax半导体设备的一种先进的等离子去胶/蚀刻系统,采用了的光刻胶去除技术,以较具竞争力的价格提供的设备性能。NEO 2000专门设计用于直径为100mm至200mm的基片上。

它配备了一个**快速传输平台,灵活可配置,且可同时处理不同尺寸的基片,*更换硬件。NEO 2000系列具有紧凑的模块化设计,可提供高生产量,以实现的拥有成本。

特性

- 衬底尺寸可配置100/150/200mm

- 3或4个Loadport 或2个集成SMIF 的 Loadport

-5轴双臂机器人,需使用特定的衬底夹持器进行操作

-可提供3种不同的工艺室技术:

- 微波源 2.45GHz)

- 射频源 13.56 MHz)

- 双电源(微波、射频偏压)

- 机械传片率200wph

-较小的占地面积

-较低的拥有成本

-全数字控制,设备网-以太网

-基于Windows的工业计算机

应用

- 光阻灰化,LDI后光刻胶去除

- 预处理加工

- 聚合物去除

- 大剂量离子注入后光阻去除

- 氮化硅和碳化硅刻蚀

- TaSi蚀刻

- MEMS(微电子机械系统)应用

- 先进封装工艺 PR、PI、BCB、PBO)

-射频滤波器BAW/SAW工艺中的光阻去除

NEO 3000

NEO3000是Trymax 公司NEO系列中已被长期使用的机台,用于先进的等离子灰化和蚀刻工艺。

NEO3000已为您的高产能做好了准备,它适应半导体生产每一个阶段和预算。NEO3000系列可以搭配任意现有的NEO工艺模块并且可以支持直径为300毫米的基片。它采用模块化设计,体积小,占地面积小,可根据您的需要灵活搭配。NEO3000系列可兼容直径为200毫米及300毫米的基片。

特性

-支持直径为200和300毫米的基片

-支持2个SMIF上料台。

-全自动5轴双手臂传送机械臂

-支持3种不同的工艺腔室:

-微波下游(2.45GHz)

-射频偏压(13.56MHz)

-双电源系统(微波+射频偏压)

-机械产能>300片/小时

-较小的占地面积

-较低的拥有成本

-完全数控化机台:DeviceNET通讯及以太网通信

-基于windows平台的工业计算机

-晶圆冷却平台及缺口校准器


欢迎来到上海螣芯电子科技有限公司网站,我公司位于历史文化悠久,近代城市文化底蕴深厚,历史古迹众多,有“东方巴黎”美称的上海市。 具体地址是上海青浦夏阳上海市青浦区青浦新城城东新村二区104号,联系人是娄经理。
主要经营贴片机相关产品。
单位注册资金单位注册资金人民币 250 - 500 万元。

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    商家联系方式

    上海螣芯电子科技有限公司

  • 娄经理(销售总监)

    手机:13122976482

    地址:上海青浦夏阳上海市青浦区青浦新城城东新村二区104号

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相关分类: 振动盘 压接机 贴片机 跳线机 蚀刻机 熔接机 热压机 绕线机 铆接设备 绞线机 工装夹具 端子机 电子元件成型机 电子电器生产线 电容剪脚机 电镀设备 点胶设备 导线剥皮机 打胶机 充磁机 插件机 剥线机 邦定机

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