半导体膜厚检测仪厂家-景颐光电(在线咨询)-半导体膜厚测试仪

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涂层膜厚仪工作原理及校验方法

感应加热系统为了产生所需要的加热速度，工作在高功率计。相反，涡流检查为了减小热损失和温度变化，通常工作在很低的功率级。此外在涡流设备中，由于被检查零件中的一些变化（如由于出现缺陷或尺寸改变所引起的变化）所引起的电负载改变，可通过电子电路来监视。

无论在涡流检测还是在感应加热中，工作频率的选择主要由“趋肤效应”决定。这种效应使涡流向接近带电感应线圈的零件表面集中。集肤效应随频率的增加而更加明显。

使用涡流法测厚时，利用高频交电流在探头线圈中产生一个电磁场，当探头靠近导电基体时，在导电基体中形成涡流，探头与导电基体之间有非导电覆盖层阻隔，覆盖层越薄，导电基体中形成的涡流越大，对探头线圈产生反馈作用越大（反射阻抗越大），这个反馈作用量表征了探头与导电基体之间距离的大小，通过测量反馈作用的大小可测量出导电基体上非导电覆盖层的厚度大小。

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