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无油真空泵在电子技术领域的应用：通常我们在选择真空泵时多根据实际工况需要的真空度来选择真空泵的类型，依据抽气量来选择真空泵的抽速的。当然还有其他因素影响真空泵的应用，比如说真空电子技术领域里还应考虑工艺环境的清洁情况，实际工艺过程以及泵浦里面的反应气体和反应产物的颗粒。无油真空泵应用较为广泛的两个领域有半导体以及LCD制造。

 无油真空泵的概念相当久远，20世纪初世界上就已经有了涡旋技术的。但由于当时技术水平的限制，涡旋无油真空泵机构制造不出来，涡旋的概念也就被淡忘了。1973年涡旋机构被重新提起并制造出一台模型机构，使这项技术实际应用成为可能。涡旋机构的可靠性高、运行平稳、噪音较低、节省能源等潜力和巨大优势马上引起了冰箱行业的重视和迫切需求，大受者青睐，迅速被投入工业化应用。Trance、Hitachi、Copland等公司的涡旋压缩机技术与产品弓领了世界涡旋技术实用化的浪潮，无油无水真空泵生产厂家，带动了如冰箱、空调等诸多行业的技术进步和产品的更新换代。

.干式螺杆真空泵过流部件可采用镀镍或经各种耐腐蚀材料在泵腔内处理，揭阳无油无水真空泵，能耐受大部分**酸气和无机酸气的腐蚀，在抽取含盐酸气的蒸馏体系中已成功运用。而水环泵由于不便进行防腐处理，一般不能使用于酸性体系。  无油无水真空泵

无油干式螺杆真空泵只需要少量循环冷却水在泵腔外包围流动，运行费用低。而水真空泵不断有溶剂进入水箱内，就需要定期或连续对水箱换水，以保持泵运行的真空度，需要消耗大量的水，对于水费不断上涨的情况下，无油无水真空泵价格，水喷射泵或水环泵的运行费用是较大的。尽管干式螺杆泵的设备价格比水喷射泵或水环泵高，但就长期运行使用来看，其费用更低，更经济环保。

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