中图SuperViewW1白光干涉仪一键测量三维形貌

中图仪器的SuperViewW1白光干涉仪可实现对小尺寸精密器件的批量测量并直接获取分析数据的功能，可测各类从**光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

技术指标

白光干涉仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它以白光干涉技术为原理，结合3D建模算法、精密Z向扫描模块等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，然后系统软件对器件表面3D图像进行数据处理和分析，从而获取能反映器件表面质量的参数，实现工件表面三维形貌的测量。

工作原理

光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束，一束经被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反射光较终汇聚并发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。

产品功能

性能特征

中图仪器的SuperViewW1白光干涉仪让轮廓测量价格更为实惠，适用于各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙间隙、台阶高度、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、波纹度、面形轮廓、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。