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氦质谱检漏真空系统电气部分
除了主机供电部件和主机控制部件,还有几组主要电路:
1)离子源电源。为离子源提供加速、聚焦、拒斥电压。
2)发射电流稳定电路。稳定和调节发射电流。
3)离子流放大器和音响报警器。将离子流进行放大并将输出信号送入输出仪表或显示器和音响报警器。
4)真空测量电路。一般用热偶计测量低真空,用冷阴极磁控入电真空计测量高真室。
5)灯丝保护电路。当质谱室正常工作压力被破坏后,立即切断灯丝供电回路,以保护灯丝。
6)其他电路。不同型号的检漏仪所具有的功能不尽相同,所以电路也有不少差加,这在各自的说明书中都有说明,这里不同赘述。
折叠手动便携式检漏仪
手动便携式检漏仪的显著优点:
(1):手动便携式检漏仪是一款实用的检漏仪,可覆盖广大的应用领域,较具竞争性的价格及较低的使用成本,大抽速前级泵的设计,可缩短抽气时间,提高使用效率;
(2)自我保护功能:在突然暴露大气和突然断电时具有保护功能,系统的逆扩散设计保护了质谱室的清洁、真空,且不需要液氮;
(3)结构灵活:可采用主机与前级泵单独采买,前级泵可使用油封式旋片泵或涡卷式干泵,对于此款检漏仪,您既可选择带有连接配件的主机形式,也可选择安装在两轮小车上的整体形式。
氢质谱检漏仪系统的氨质谱检漏仪关键部件均为进口,性能。不仅灵敏度高,而且操作方便,能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。此检测方法使用的示踪气体选择了氦气 ,氦气具有质量数小重量轻并且有渗透能力强的优点,达到了细检漏的目的。
氦质谱检漏仪特点:
1.检测时间和周期非常短,真空包装检漏仪,可以达到5s以内;
2.检测的介质比较常用,仅需压缩空气即可;
3.不会受到主观因素判断的影响;
4.检测的数据;
5.自动生成数据保存,可追溯数据来源。
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