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真空泄漏中的实漏、虚漏、外漏、内漏
动态泄漏
真空系统中有运动传递的地方会采用动密封,真空氦检漏回收系统,这些动密封结构,很有可能在静态的时候密封良好而运动的时候产生泄漏;比如采用橡胶轴封做动密封(阀杆与阀体之间)的阀门,就比较容易发生这种现象。这种现象发生的概率不高,不过由于检漏时阀门一般是处于打开或关闭的某一个状态,这种动态泄漏很难被发现。
对于非常关键的工艺,选择波纹管密封的阀门可以大大减小出现动态泄漏的概率;如果选用的还是轴封做密封的阀门,在检漏时,向阀杆位置喷氦的同时,操作阀门进行动作,也可以很快地判断该阀门是否存在动态泄漏。
值得注意的是,真空腔体检漏的要求较高,不仅需要操作者具备扎实的基础知识、丰富的操作经验,而且现场情况也复杂多变。因此,出现问题,好寻求公司人员的帮助。
关于真空检漏
漏孔、漏率及其单位
真空技术中所指的漏孔,由于尺寸微小、形状复杂、形式多样(如图1所示),氦检漏系统,无法用几何尺寸表示其大小。所以一般用等效流导或漏气速率(简称为漏率)表示漏孔的大小。
用漏率表示漏孔大小时,如果不加特殊说明,则是指在漏孔入口压力为1.01×105Pa,出口压力低于1.33×103Pa,温度为296士3K的标准条件下,单位时间内流过漏孔的温度低于248K的空气的气体量。
漏率的单位是帕斯卡×立方米/秒,真空箱氦检漏系统生产厂家,记为Pam3/s。为了方便,有时用帕斯卡×升/秒,记为PaL/s。
检漏技术的发展
检漏技术在真空领域占有非常重要的地位,它关系到真空设备的各项真空指标。如何快速地找到漏点,真空箱氦检漏系统,关系到企业的生产效率与经营成本。
检漏技术是一门不断发展、不断完善的技术,多年来,人们创造了很多检漏方法。
上世纪四十年代以前的技术非常简单,比如气泡法、电离计法等。当时,漏率高只能检测到10^-7Pa·m^3/s。
后来,经过不断的完善与提高,在1950~1960年代,研制者朝着提高灵敏度的方向努力,使灵敏度一度达到了10^-15Pa·m^3/s。
然而实践证明,单一追求高灵敏度并非合适,这会给检漏仪的生产制造带来一些麻烦。后来,人们将精力主要放在了仪器的稳定性、可靠性、小型化、简单化、检漏过程迅速化上面。
当今常见的氦质谱检漏仪,灵敏度在10^-9~10^-13Pa·m^3/s。较为先进的检漏仪压力在几万Pa就可检漏。便携式的检漏仪,一个人就可以搬运。甚至有些检漏仪已经可以通过手机APP远程控制检测。
这些技术上的进步,使检漏工作的效率和便利性得到很大提升,应用氦质谱检漏仪已经成为检漏技术中的主要方法。
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