产品规格: | EVG610 | 产品数量: | 100.00 台 |
---|---|---|---|
包装说明: | 木箱 | 价格说明: | 不限 |
查看人数: | 319 人 | 本页链接: | https://info.b2b168.com/s168-186195783.html |
公司编号: | 23049994 | 更新时间: | 2023-05-18 17:09:52 |
电源: | N | 分辨度: | 0.5um |
贴片速度: | N | 贴装模式: | N |
自动手动: | 手动 | 取料模式: | N |
喂料器数目: | N | 型号: | EVG610 |
加工定制: | N | 重量: | N |
规格: | N | 品牌: | EVG |
EVG610 紫外光刻机
设备咨询:娄经理 1312-297-6482
特点:
晶圆/基片尺寸从零碎片到200毫米/ 8英寸
**部和底部对准功能
高精度对准
自动楔形补偿序列
电动的和程序控制的曝光间隙
支持UV-LED技术
小化系统占地面积和设施要求
分步流程指引
远程技术支持
多用户概念(用户帐户和程序,可分配的访问权限,不同语言)
敏捷的处理和转换重新加工
台式或独立式带防振花岗岩台面
附加功能:
键合对准
红外对准
纳米压印光刻(NIL)
关键技术参数:
**部对准精度:≤ ± 0,5 微米
底部对准精度:≤ ± 2,0 微米
红外对准模式:≤ ± 2,0 微米/取决于基片的材料
接触:硬、软接触,真空
曝光间隙:1 - 1000 微米
线宽精度:1微米
更多资料 请联系公司销售人员