武汉钨钛合金靶材

醴陵市利吉升新材料有限公司

金属钨 与 金属 Ti 通过粉末冶金的方式 制备的合金材料，通常有W-10Ti at% 主要应用于集成电路的薄膜制程

氧含量是钨钛合金性能判定的一项重要指标,氧易在溅射过程中形成细小离子,削弱薄膜阻挡能力,使其使用性能变差

液态钛简直能溶解一切的金属，因而能够和多种金属构成合金。钛参加钢中制得的钛钢坚韧而赋有弹性。钛与金属Al、Sb、Be、Cr、Fe等生成填隙式化合物或金属间化合物

密度
9.3～13.2
导热系数
20.9～62.8
热膨胀系数
7.0～6.06
洛氏硬度
92.5～89.5
抗弯强度
900～1400Mpa
弹性磨量
400～600
熔点（碳化物）
3413(k)
软化温度
1573(k)
电阻率
不同温度电阻率不同，一般不计