真空镀膜离子源电源 多波形励磁电源

昊源镀膜电源还采用了一些可显著提高电源性能、改善操控性能的技术措施，包括双重灭弧技术、打弧次数自动计数技术及脉冲电位器技术。双重灭弧技术是指系统在二级逆变电路中分别设置了灭弧电路，灭弧效率大大提高。自动记录打弧次数有利于用户分析镀膜效果，采用脉冲电位器则大大提高了器件操作的寿命及操作便利性。

一、 主要特点：
1．采用先进的开关电源技术，体积小、效率高、运行稳定、噪声低、对电网干扰小，在节能和镀膜工艺的稳定性上比传统电源有明显的优势。
2．采用先进的DSP控制系统，具备自动稳流/稳压功能，不随气压变化，充分保证镀膜工艺的重复性，精确控制膜厚和减少靶材用量。
3．抑制靶材弧光放电及抗短路功能。 具有的负载匹配能力,既保证了靶面清洗工艺的稳定性，又提高了靶面清洗速度。
4．具有电压陡降特性,可充分满足磁控溅射的特殊要求。
5．主要参数均可大范围连续调节。
6. 可N+1并联，实现大功率输出，方便维护，可靠性高。
7．PLC接口功能，方便实现自动化控制。
二、扩展功能：
1．具备恒定输出功率控制功能。
2．可累计输出功率，掉电后可长期保存。
3．可累计输出电流，方便用户计算靶材损耗；并可预置电流X时间输出控制。
4．具备RS485通讯接口功能，方便与PLC或工控计算机实现**传输，实现全自动控制。
5．可预置输出值。
6．智能报警功能，当输出值与设定值有偏差时，通过声光报警提醒用户。
7. 开机密码保护功能，可限制无关人员使用本机器。
8．多级输出功能。可设定在不同时间段输出不同的电流、电压或功率值。
9．大屏幕液晶中文显示，界面友好，操作方便。

、 主要特点：
1．采用先进的开关电源技术，体积小、效率高、运行稳定、噪声低、对电网干扰小，在节能和镀膜工艺的稳定性上比传统电源有明显的优势。
2．采用先进的DSP控制系统，具备自动稳流/稳压功能，不随气压变化，充分保证镀膜工艺的重复性，精确控制膜厚和减少靶材用量。
3．抑制靶材弧光放电及抗短路功能。 具有的负载匹配能力,既保证了靶面清洗工艺的稳定性，又提高了靶面清洗速度。
4．具有电压陡降特性,可充分满足磁控溅射的特殊要求。
5．主要参数均可大范围连续调节。
6. 可N+1并联，实现大功率输出，方便维护，可靠性高。
7．PLC接口功能，方便实现自动化控制。

它具有以下特点：
1、可提供恒流，恒压，恒功率工作模式。
2、有效抑制耙材弧光放电及抗短路功能，具有的负载匹配能力。
3、具有电压陡降特性，可充分满足磁控溅射的特殊要求。
4，工艺重复性好。
5、提高成膜速度，实现高质量的溅射膜层。
6、可N+1并联，实现大功率输出，方便维护，可靠性高。
7、具备RS485通讯接口PLC模拟接口功能，方便与工控电脑计算机**传输，实现全自动控制。
8、具有多级输出功能，可设定在不同时间段输出不同的电流、电压或功率值。