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特种气体的杂*测和监控

随着电子特气的纯度越来越高，对分析检测方法和仪器提出了更高的要求，检测限从zui早的ppm级已经发展到ppt级。目前国外电子气体的分析己经经历了离线分析、在线分析(on-line)，原位分析(insitu)等几个阶段。对于高纯度电子气体的分析，国外已开发出系统完整的分析测试方法和现场分析仪器。而由于我国电子特气行业一直重生产而轻检测，因此分析方法和分析仪器同国外厂商相比都比较落后。

特种气体系统：

主管路系统的设计

对于低蒸汽压气体（WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等），工业特种气体多少钱，需要考虑钢瓶加热，气体面板加热，管道伴热等。为了精1确控制流量，在气源端一般会考虑配置**的压力变送器、电子秤、温控器等。在机台用气点也都配置了质量流量计，压力调节阀。对于剧1毒、高反应性和自燃气体，合肥特种气体，应使用双套管输送。同时管道的设计要采用零死区设计，特种气体厂商，即整个管道系统从气柜到VMB、从VMB到用气点，要点对点，中间不允许有在气体置换时有残留空气的死角。因此，特种气体厂家，整个管路系统中由VMB完成气体的分配，中间没有三通。较后管道还要有良好的接地。

特种气体系统工程施工的一般性要求

特种气体系统使用的不锈钢管应采用全自动轨道焊机焊接，高纯氩气保护。安装和试验检测用计量器具应检定合格并在有效期内使用。特种气体系统工程施工前**编制专项施工方案，并经过业主审批后实施。主要设备材料进场应提供必要资料：产品合格证、质量保证书、性能测试报告；产品安装、使用、维护和试验要求等技术文件；产品规格、型号、数量、设备附件及**工具。

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