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净化工程施工

洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。

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净化工程施工

净化工程的设计过程中，应加强对光学微电子行业净化工程设计方案分析了解,根据该工程是新建工程或者是旧厂房改造工程，并结合其具体的生产工艺、生产流程等要求确定其需要的洁净度、温湿度。

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1、工作人员进入洁净车间无菌室前，必须用肥皂或消毒液洗手消毒，然后在缓冲间更换**工作服、鞋、帽子、口罩和手套(或用70%的乙醇再次擦拭双手)，方可进入洁净车间无菌室进行操作。

2、洁净车间无菌室使用前必须打开无菌室的紫外灯辐照灭菌30分钟以上，并且同时打开**净台进行吹风。操作完毕，应及时清理无菌室，再用紫外灯辐照灭菌20分钟。

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