1.真空度不高
(1)真空泵温太高，1.被抽气体温度过高。应让气体冷却后再进入真空泵内，2.吸入硬物使真空泵体磨损。应拆开真空泵除去硬物，对划伤部件进行修复或更换，3.真空泵冷却水流较不够。应加大冷却水流量，4.装配不当，使转子轴心位移，造成单面磨损。应拆开检查并重新装配。
(2)真空泵油有问题，1.油位过低。应加足油量到油标中心线，2.油被沾污，油质变坏。应更换新油，3.油的牌号不符。应换规定牌号的真空泵油，4.油路不通，真空泵腔内没有保持适当的油量。应检查油路及油阀的进油量，保持油路畅通。
(3)真空泵本身漏气：1.密封圈漏气。应检查所有密封部位的密封情况，更换破损的密封圈，2.气镇阀垫圈损坏：或未拧紧。应更换垫圈并拧紧气镇阀；3.排气阀片损坏，密封不好。应更换气阀片；4.真空泵中隔板压入时过盈量太大，造成真空泵腔变形而漏气。应修整真空泵腔或更换，5.由于真空泵的端面油密封不良造成漏气。应拆开端盖，检查是否有杂物或不平整，并进行清洗或修理。
(4)转子弹簧变形或折断及旋片动作不灵。应整修或更换弹簧变形，使转子积旋片配合良好，
(5)进气口的过滤网被堵塞。应取下过滤网清洗干净，再装上去，
(6)因加工不良或磨损造成配合间隙过大。应检查真空泵腔、转子、旋片、端盖板之间的配合间隙，投规定的精度要求进行修复或更换。
(7)真空泵运转中摩擦发热.温升太高，使真空泵油变稀，密封性变差。应通冷却水或用电风扇降温，同时，检查有关部件配合间隙并按规定精度要求进行修理或更换。
电机、真空泵运异常电机**负荷运转、真空泵在运转中异常杂音、噪声、转动困难或发生“卡死”现象。
(1)真空泵温太高，可参照1款(1)项处理，
(2)弹簧变形或断裂，使旋片受力不均匀而发出冲击声；应更换弹簧；
(3)装配不当，造成单面磨损，应重新装配；
(4)过滤网损坏，金属屑、玻璃屑等落入真空泵内，使运转发生障碍。应拆真空泵检查、清除碎屑，修复或更换磨损部件，并装好过滤网，
(5)真空泵腔内污染严重，导致零件锈蚀。应拆真空泵请洗，去除锈斑，并换油，
(6)真空泵油变成乳浊状.粘度增大。应更换新的真空泵油，
(7)真空泵腔、轴和轴套配合过紧，紧成润滑不良。应重新装配并疏通和调节油路，加强润滑，
(8)电机有故障而产生噪声。应检修电机或给轴承加上润滑黄油。
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