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恒温培养箱（要60度左右）扩展知识分享：MEMS应用使得金属氧化物(MOX)气体传感器在晶圆级大中得以广泛应用，大大降低了硅晶圆的成本。这些气体传感器装置适用于一氧化碳(CO)和各种挥发性**化合物，如：如乙醇、和甲苯的测量。出于健康和考虑，这些传感器的应用主要包括环境、生物研究、工业控制、便携式测量仪和家庭空气系统。MOX气体传感器采用MEMS，大大降低了成本。但是这些传感器也必须经过测试，这与典型半导体器件的和测试相比是一组的挑战。


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