LASEROPTIK是在20世纪80年代由Johannes Ebert博士创立,由于Ebert博士在汉诺威大学**光学研究所积累了薄膜制造和表征方面的经验,为精进镀膜技术奠定了基础。经过几十年的发展,LASEROPTIK使用许多不同的涂层镀膜技术来找到满足各种需求的解决方案,如今,有六种不同的镀膜涂层(ALD/EBE/IAD/IP/MS/IBS),每种方法都有自己的优点和缺点。
如下是六种涂层镀膜技术的详细图解:
Laseroptik的六种镀膜涂层方法分别是原子层沉积(ALD),电子束蒸发(EBE),离子辅助沉积(IAD),离子电镀(IP),磁控溅射 (MS)和离子束溅射(IBS),这几种涂层镀膜的特点分别是柱状结构,高封装密度以及很高的薄膜一致性等,能够满足高功率反射镜和晶体涂层等的特殊要求。
图1:涂层镀膜技术原理结构图
Laseroptik镀膜技术的比较:
选择较适合每个标准重要性的涂层技术是很有必要性的,但需要了解到客户的具体需求才能更好的选择镀膜涂层技术方案。以下图示是不同特性不同应用使用哪种涂层较有效果的示意图,其中深绿色是表示特别适合,浅绿色是表示可以使用,白色是表示通常不合适。
由图我们能看出这六种Laseroptik涂层在可见光(VIS)和近红外(NIR)都特别适合,但在真空紫外(VUV)就只能推荐电子束蒸发(EBE)的涂层技术方法。综合分析,离子束溅射(IBS)是适合各种应用范围和特性的,但是性价比一般,通过这些分析,我们能够选出较合适客户需求的产品。
损伤阈值LIDT
图2:涂层比较图
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