真空镀膜机是一种用于在物体表面形成薄膜的设备，它通常由多个配件和耗材组成。以下是一些常见的真空镀膜机配件和耗材：


镀膜材料：包括金属蒸发材料（如铝、铜、银、金等）和非金属蒸发材料（如氧化物、氮化物等）。这些材料用于在真空环境中蒸发并沉积在物体表面形成薄膜。
镀膜舟：用于装载镀膜材料的容器，通常由耐高温材料制成，如石墨、石英等。
镀膜源：用于加热和蒸发镀膜材料的设备，如电子束蒸发源、电阻加热源、磁控溅射源等。
镀膜控制系统：用于控制镀膜过程的设备，包括真空度控制、温度控制、蒸发速率控制等。
泵系统：用于创建和维持真空环境的设备，包括机械泵、分子泵、扩散泵等。
镀膜掩膜：用于遮挡部分物体表面，使其不被镀膜的设备，如掩膜纸、掩膜胶带等。
镀膜监测设备：用于监测镀膜过程中的参数和性能的设备，如膜厚计、光谱仪等。
清洁和维护工具：用于清洁和维护真空镀膜机的工具，如真空泵油、清洁剂、密封件等。

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