一、压力为单位面积所承受的力

压力：**压力 、表压力 、大气压力。相互关系：**压力=表压力+大气压力

**压力:当压力表示与完全真空的差。测量处的实际压力。

表压力:当表示其气体数值与该地域大气压力的差值。

大气压力：由大气重量所产生之压力，标准大气压力为29.92″寸柱压力

二、常用压力换算：

注：毫米水柱是指4摄氏度状态的水柱高度，毫米柱是指0摄氏度状态的水柱高度。 1mmAg = 9.80665Pa = 0.0980665hPa；

1atm = 760 mmHg = 1013hPa 1mmAg = 0.0735793mmHg。

二、流量单位

nl/min是气流量单位，1NL/min=0.060标立方。NL是指在0摄氏度1个标准大气压下的气体体积；NL/min则代表在0摄氏度1个标准大气压下每分钟通过的的气体体积，即气流量。

N代表标准条件，即空气的条件为一个标准大气压，温度为0℃，相对湿度为0%。Nm³/h是在0度，1个标准大气压下的标准流量，Nm³/h通常叫标立方，是标准状态下的排量；1000 NL/min=1Nm3/min=60Nm3/min，即1NL/min=0.060标立方。

L/min与NL/min区别：L/min是升每分钟，NL/min是标准升每分钟；没有换算关系，NL/min强调是标准状况下，也就是0度，1个大气压。

L/min与NL/min对比：

1、L/min就是L/min是升每分钟，一个普通的流量单位。流量，是指单位时间内流经封闭管道或明渠有效截面的流体量，又称瞬时流量。当流体量以体积表示时称为体积流量；当流体量以质量表示时称为质量流量。单位时间内流过某一段管道的流体的体积，称为该横截面的体积流量。简称为流量，用Q来表示。

2、NL/min

NL/min读作标准升每分钟,意思是20摄氏度,1大气压的标准状况下的流量是每分钟多少升。

换算例子;

流量=300L/MIN 换算成每小时多少立方 （液体水）

三、气体流量sccm和cc/min的区别：

SCCM是指标况下的泄露量 （标况不是指测试状态是在恒温恒湿，而是指气体状态的23摄氏度 一个大气压时的气体体积） 因为此时的气体密度是已知的， 所以也叫做质量流量。

大多数压差式测漏仪 输出的单位显示是sccm还是cc/min 其实都是sccm 两者无差异

1ml/min=1sccm

sccm是体积流量单位

SCCM是标准立方米每分钟的缩写，是指在标准状态（即1个大气压，25℃）下每分钟1立方厘米（1ml/min）的流量，也就是说，SCCM是质量流量单位，不同于一般的流量单位。例如，1cc/sec是单位时间内通过的体积，而质量流量是单位时间内通过的气体摩尔数。这个单位通常用于化学反应，如CVD，为了精确控制原子组成比（理想气体公式：PV=NRT，在标准状态下，气体体积比等于摩尔比，所以只要控制气体的质量流量比，它等于反应气体的摩尔比）

sccm和分钟立方厘米换算

sccm——英文second cubic centimeter (秒立方厘米)的缩写符号。

因为

1min(分)=60s(秒)。

1s=1/60min。

1m=100cm。

1m^3=10^6cm^3。

1cm^3=10^(-6)m^3。

所以

1sccm

=1s.cm^3

=1/60min＊10^(-6)m^3

=1.6666666x10(-7)min.m^3

≈1.66667x10(-7)min.m^3(分钟立方米)。

由此可知

1sccm(秒.立方厘米)约等于1.66667x10(-7)min.m^3(分钟.立方米)。

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