高纯氮气在电子行业中的应用

冶金淬火工艺

高纯氮气为主要保护气体在冶金工业中运用范围较广，所有的热处理工艺，包括淬火、退火、渗碳、碳氮共渗、软氮化及复碳等工艺，都能够使用高纯氮气完成所处理的金属零件在质量上可与传统的吸热式气氛处理相媲美。高纯氮气是一种中性气体，在非活化状态下，高纯氮气可用于保护加热，防止钢、铁、铜、铝制品氧化、脱碳，因而广泛用于光亮淬火、光亮退火、光亮回火等金属热处理工艺中。在真空热处理时，高纯氮气常作为冷却介质，用于金属部件的低温装配；充氮加压油淬时，高纯氮气既可保护真空炉的电热元件又可通过调节氮气压力，提高金属部件的淬硬性。在这些行业中需要提供高品质氮气，有的需要纯度大于99.5%，有的则需要纯度大于99.9995%。

集成电路

在电子行业中，高纯度氮气运用十分广泛。在半导体与集成电路制造与生产过程中，需要高纯氮气对其进行气氛保护与清洗，保证半导体与集成电路的质量；在半导体电池和电子合金材料等行业中，高纯氮气被用于电子产品的封装、烧结、退火、还原、储存等环节；在大规模集成电路、彩电显像管液晶以及半导体原件的处理中，高纯氮气被用于十分重要的氮气源；在单晶硅、多晶硅与一些外延产业中运用高纯氮气，不仅能够提高生产效率，还有效提升了产品质量；在电子行业中的磁材行业塑造中，需要通过喷砂、除水等环节的处理之后，再将其放置在充满高纯氮气的氮气室中，经过规定时间的加热处理之后，再重复上述工序，再将其放置在冷却通道保护氮气室，温度冷却到中温之后，将其放置在中温冷却室中，直到完全冷却，就可以进行工作输出。采取这种方式，将高纯氮气运用到电子生产中，不仅能够避免高温下造成的材料浪费，又能够提高生产效率，保证零件精确度，延长零件使用寿命。电子行业中氮气纯度必须保持在99.999%之上，才符合电子行业的生产标准。

化纤干燥

一些化工生产企业要对化学品进行干燥，也会采用氮气作为干燥气源。随着对产品品质的要求越来越高，对用气量的需求也越来越大，对纯度的要求也越来越高。目前国内的气体用户大部分采用的是一次用气流程，即将使用后的气体直接放空，为了节约成本，会将氮气进行循环，但需要将循环高纯氮气进行脱氧，从而有效避免在干燥的过程中原料氧化变质的现象。

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