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氦质谱检漏仪 MPCVD 检漏, 实现金刚石膜制备

氦质谱检漏仪 MPCVD 检漏, 实现金刚石膜制备

氦质谱检漏仪 MPCVD 检漏, 实现金刚石膜制备
微波等离子体化学气相沉积法 Microwave Plasma CVD (MPCVD) 是目前国际上被用于金刚石膜制备的公认方法. MPCVD 装置将微波发生器产生的微波经波导传输系统进入反应器, 并通入甲烷与氢气的混合气体, 在微波的激发下, 在反应室内产生辉光放电, 使反应气体的分子离化, 产生等离子体, 在基板台上沉积得到金刚石膜. 上海伯东某客户投资数亿元采购 MPCVD 长晶设备用于人造金刚石的生产, 预计年产量万片.

MPCVD 需要检漏: 在使用 MPCVD 设备进行金刚石合成的过程中, 如果设备有泄漏的情况, 将会使合成的金刚石中掺有杂质, 影响金刚石的品质, 一般漏率要求 1E-9 mbar l/s. 需要快速的对设备进行定量的泄露检测, 传统检漏方式无法满足.

上海伯东 MPCVD 设备检漏客户案例: 为了解决这一问题, 上海伯东推荐客户采购氦质谱检漏仪 ASM 340, 利用真空法对 MPCVD 进行检漏, 漏率设置 1E-9 mbar l/s.
1. 将设备通过波纹软管连接检漏仪 ASM 340, 确认连接完毕
2. 启动 ASM 340, 进入待机界面; 初次启动时间大约 3min, 以后启动 < 1min
3. 按下开始键, 先通过 bypass 阀门启动干式真空泵 ACP 28 抽真空, 到达一定压力检漏仪 ASM 340 开始工作, 同时在设备怀疑有漏的地方喷氦气  (腔体, 焊缝, 连接处); 若有漏, 检漏仪马上报警, 显示该喷射点有漏.
4. 检测完毕, 按下检漏仪待机键, 放气, 关闭电源, 移除连接管路.
氦质谱检漏仪 ASM 340 与传统泡沫检漏和压差检漏对比, 在提供无损检漏的同时可以出小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦气作为示踪气体可定位, 定量漏点.

型号

ASM 340 W

对氦气的小检测漏率

5E-13 Pa m3/s

检测模式

真空模式和吸式

检测气体

4He, 3He, H2

启动时间 min

3

对氦气的抽气速度 l/s

2.5

进气口大压力 hPa

25

前级泵抽速 m3/h

油泵 15

重量 kg

56


结合了 Pfeiffer 与 Adixen 两家检漏仪的技术优势, 上海伯东德国 Pfeiffer 推出全系列新型号氦质谱检漏仪, 从便携式检漏仪到工作台式检漏仪满足各种不同的应用. 氦质谱检漏仪替代传统泡沫检漏和压差检漏, 利用氦气作为示踪气体可定位, 定量漏点. 氦质谱检漏仪满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 PLC. 推荐氦质谱检漏仪应用 >>

鉴于客户信息保密, 若您需要进一步的了解 MPCVD 设备检漏, 请联络上海伯东叶女士


现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶女士
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