残余气体分析仪应用于高温真空炉, 实现质量保证和过程优化

伯东企业（上海）有限公司
2023-04-12

残余气体分析仪应用于高温真空炉, 实现质量保证和过程优化
上海伯东某客户生产研发 X 射线管及组件, 使用德国 Pfeiffer Hicube RGA 残余气体分析仪与高温真空炉连接, 测试产品在不同温度下挥发的产物变化, 进一步分析产品的耐用性以及使用形态. 实现真空过程相关的质量控制, 满足 X 射线管工艺要求.

残余气体分析仪质量保证和过程优化
诸如提供气体成分定量测定, 确定过程气体纯度, 以及监测高温真空炉工艺过程相关气体成分等能力, 残余气体分析仪 HiCube RGA 是过程记录和质量保证中的重要工具. 即使测量正在执行, 所有测量值也会得到存储, 并且可以在不停止测量的情况下追踪. 即使仍在执行测量, 也可以导出测量结果以进行进一步分析.

上海伯东 Pfeiffer 残余气体分析仪 HiCube RGA 进样口为 DN16 ISO-K 标准真空法兰, 可以根据客户需求, 选择不同的连接接口, 通过调整 EVN 116 气体计量阀实现进样, 进样气体流量可调整, 自 5X10-6 至 3X103 hPa l/s.

Pfeiffer 残余气体分析仪 Hicube RGA 技术规格

涡轮分子泵组	HiCube™ Eco
功耗	170W
电压（范围）	110 - 240 V; 50 / 60 Hz
氮气抽速	67 l/s
前级泵在 50 Hz 时的泵送速度	1 m3/h
限真空	<1X10-7 hPa
真空计	PKR 361
测量范围	1X10-9 至 1X103 hPa
阀门	EVN 116
气体流量	可调整, 自 5X10-6 至 3X103 hPa l/s
进气口	DN 16 ISO-KF

PrismaPro	QMG 250 F1	QMG 250 F2	QMG 250 F3	QMG 250 M1	QMG 250 M2	QMG 250 M3
检测器	法拉* Faraday (F)			电子倍增器/法拉* C-SEM/Faraday (M)
质量数 amu	1–100	1–200	1–300	1–100	1–200	1–300
四杆直径／长度	6 /125 mm
小检测限 F hPa *1,2	4X10-13	5X10-13	7X10-13	-	-	-
小检测限 M hPa *1,2	-	-	-	3X10-15	4X10-15	5X10-15
对Ar的灵敏度 F A/hPa*3	5X10-4	4X10-4	3X10-4	5X10-4	4X10-4	3X10-4
大工作压力 F hPa	5X10-4
大工作压力 M hPa	-	-	-	5X10-5	5X10-5	5X10-5
对临近质量数的影响*1	< 10 ppm	< 20 ppm	< 50 ppm	< 10 ppm	< 20 ppm	< 50 ppm
操作温度分析	200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)
操作温度电子	5 – 50 °C
烘烤温度分析	300 °C
连接法兰	DN 40 CF-F
保压时间	1 ms – 16 s/amu
峰比值可重复性	± 0.5 %
接口	以太网
电源电压	100–240 V AC，50/60 Hz
HiCube™ RGA重量	25.5 - 26.2 kg

上海伯东销售维修德国 Pfeiffer 残余气体分析仪 HiCube RGA. 四杆质谱 PrismaPro 与 HiCube 涡轮分子泵组的搭配, 质量数范围 1-300, 高分辨率和灵敏度. 适用于残余气体分析, 过程监测, 泄漏检测.

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