Piezoconcept 双轴纳米定位器LFHS2
品牌简介:
双轴**高速纳米定位器,具有66毫米x 66mm毫米的大孔径。
可与集成Z轴(50米行程范围)结合使用。
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产品简介
LFHS2是一款2轴**高速纳米精密定位器,沿X和Y方向的行程范围可达75米,具有66毫米x 66mm毫米的大孔径,两轴的谐振频率均**2kHz。如果需要,它还可以与集成的Z轴(50米行程范围)一起使用(参见3轴型号LFHS3).
这种压电载物台可以与粗定位微载物台结合使用(参见我们的混合系统).
这种纳米定位器是我们高速产品线的一部分(高功率控制器可用)。利用高功率控制器,高速扫描和短于2毫秒的阶跃响应时间是可能的。
产品参数:
产品参数:
运动范围(um):30
分辨率(nm):0.03
噪声下限(nm典型值)0.003
重复性(nm):0.06
线性化(典型值共振频率(Hz):0.02%
线性化:0.02%
刚度(N/um)0.6
传感器尺寸Wx L x H(mm):120.8x120.7x28.5
材料电缆长度(m):2
控制器较大负载:1
水平使用垂直使用:0.5
谐振频率XY(Hz):3000/2000
刚度XY(N/um):4/3
产品图纸:
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Piezoconcept 双轴纳米定位器LFHS2
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