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Piezoconcept 双轴纳米定位器LFHS2

Piezoconcept 双轴纳米定位器LFHS2

Piezoconcept 双轴纳米定位器LFHS2

 

 

 

品牌简介:

双轴**高速纳米定位器,具有66毫米x 66mm毫米的大孔径。
可与集成Z轴(50米行程范围)结合使用。

 

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产品简介

LFHS2是一款2轴**高速纳米精密定位器,沿X和Y方向的行程范围可达75米,具有66毫米x 66mm毫米的大孔径,两轴的谐振频率均**2kHz。如果需要,它还可以与集成的Z轴(50米行程范围)一起使用(参见3轴型号LFHS3).

这种压电载物台可以与粗定位微载物台结合使用(参见我们的混合系统).

这种纳米定位器是我们高速产品线的一部分(高功率控制器可用)。利用高功率控制器,高速扫描和短于2毫秒的阶跃响应时间是可能的。

 

产品参数:

 

产品参数:

运动范围(um):30

分辨率(nm):0.03

噪声下限(nm典型值)0.003

重复性(nm):0.06

线性化(典型值共振频率(Hz):0.02%

线性化:0.02%

刚度(N/um)0.6

传感器尺寸Wx L x H(mm):120.8x120.7x28.5

材料电缆长度(m):2

控制器较大负载:1

水平使用垂直使用:0.5

谐振频率XY(Hz):3000/2000

刚度XY(N/um):4/3

 

产品图纸:

 


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Piezoconcept 双轴纳米定位器LFHS2


北京汉达森机械技术有限公司专注于FINI压缩机,Amtec液压螺母,Burocco阀门等

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