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IC晶圆




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下面以伺服步进电机（VR型的步进电机）为例，介绍降低振动、噪音的方法。定子的主较数为三相6较或三相12较，分析径向引起的振动，可以得到降低噪音的解决方法，可以看到6较有6个地方磁场变化，12较有12个地方磁场变化，然而12个较处的变化量比6个较的小，所以产生的振动就小。HB型步进电机，主较越多，线圈绕制的时间越长，费用越高，但主较的增加是降低振动噪音的一种手段。微调定子小齿结构降低激磁磁通中高次谐波的有效手段，如如下图所示，是使转子齿相对定子齿的节距为不等距角δδ2等，通过不同角度方法降低磁通的高次谐波，减小齿槽转矩。

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