光谱仪的精度行业内人士一般理解为仪器的精密度,涉及短期精密度或长期精密度,但对用户通常解读为准确度，实际上两者是能够统一的，精度好的仪器，准确度肯定能调试好，反之则不能。

光谱仪的精密度与设备的灵敏度关联系数很高，一般情况下高灵敏度仪器精度也高，例如一条谱线实际光强为10lm，假定探测器灵敏则转化成1000µA,探测器不灵敏则有可能为100µA，示值就会有10倍的差距，如同用米尺去测工件，误差在毫米左右。另外还有数值处理方法和人为因素，在这儿不讨论。那么灵敏度与哪些因素有关呢?

1、光源的特点，主要包括光源能量、频率特点、单火花脉冲能量、放电波形等，所以良好的光源肯定是千百次对不同材料试验调整的结果;

2、光栅的衍射效率，光栅的制造主要特点是个体的差异性非常大，**两块衍射曲线完全一致的光栅，这是光栅的制造工艺所决定的。高的衍射效率有效信号损失的就小，才能把更准确的信号展现在探测器接收面;

3、探测器的性能，一个灵敏且相对稳定的探测器应该是信号强度真实反映的必要条件。

4、软件数学模型，一个真实信号不单单是剔除背景，更是瞬态和趋势的即时展现，尤其大数据快速采样，已经突现软件建模的数值计算方法技巧和深奥数理结合的必要性。

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