LUMENTUM调Q激光器Q-Series

产品型号：Q301-HD-1000R，Q302-HD-1000R，Q303-HD-1000R，Q304-HD-1000R

产品介绍

Lumentum Q 系列激光器用于各种高精度微加工应用的高功率 Q 开关二极管泵浦紫外和绿光激光器市场。无论是对陶瓷等材料进行高脉冲能量处理、对蓝宝石或硅等材料进行高重复率处理，还是对薄膜太阳能电池进行图案化，Q 系列激光器都能提供高性能和正常运行时间。

性能特点

l 高的商用脉冲能量和峰值功率

l 由于*特的腔内谐波产生实现了能量稳定性，因此更严格的过程控制

l 由于脉冲能量、脉冲宽度和重复频率的选择范围广，因此能够处理广泛的材料

l 由于谐波晶体中的低能量密度和暴露于紫外线的无腔光学涂层，可靠性高

l 提供 355 和 532 nm 输出

l 可根据要求定制

选型指南

可选功能与配件

Q-PS-1000R：标准电源

Q-PS-A30R：3 米柔性脐带电缆

Q-PS-A50R：5 米柔性脐带电缆

Q-PS-A70R：7 米柔性脐带电缆

Q-PS-A100R：10 米柔性脐带电缆

QA-CH：标准 110 VAC

QA-CH-E：欧洲 220 VAC

QA-CH-A11：一对 3 m 软管，直/直接头

QA-CH-A12：一对 5 m 软管，直/直接头

QA-CH-A21：一对 3 m 软管，直角/直型接头

QA-CH-A22：一对 5 m 软管，直角/直型接头

QA-CH-A31：一对 3 m 软管，直角/直角接头

QA-CH-A32：一对 5 m 软管，直角/直角接头

技术参数

波长：355 纳米

较化：>100:1

空间模式 TEM00

M-平方：<1.2

腰部位置（内部，从光束出口）：42±0.4 cm

腰部直径 1/e：0.26 mm 标称

光束圆度：>85% 圆形

光束发散角，全角：1.8±0.35 mrad

（Q304-HD-1000R：2.0±0.35 mrad）

光束指向漂移，全角：<10 μrad/°C

指向漂移，**过 8 小时，全角度：2 <50 μrad

光束位置精度，单位到单位：从标称<2.5 mm

光束指向精度，单位到单位：从标称<1°

控制器重复率

内部触发：1 kHz 至 250 kHz

外部触发：0 至 250 kHz

8 小时内的功率漂移： <±2%

热身时间

从冷启动：<20 分钟

从待机：<10 分钟

工作环境温度：15 至 35°C

相对湿度，非冷凝：10 至 80%

重量：14.5 公斤

产品应用

晶圆划线

全切割晶圆切割

低k介电开槽

硅、蓝宝石、陶瓷和金属的微加工

微孔钻孔

PCB和柔性板切割

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